英國oxford vacuum 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)vapour station 4,是一款微納器件樣品制備系統(tǒng),為有機(jī)無機(jī)多源有氣相分子沉積系統(tǒng),高真空條件下,通過加熱材料的方法,在襯底上沉積各 種化合物、混合物單層或多層膜,具有高真空多源有機(jī)、金屬電阻蒸發(fā)及手 套箱保護(hù)條件下器件后期制作,主要用于有機(jī)半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能,研究實(shí)驗(yàn)、有機(jī)半導(dǎo)體器件的原理研究實(shí)驗(yàn)也可用于普通金屬電蒸發(fā)鍍膜究。
更新時(shí)間:2025-04-30