目前高純氣體分析的形式
高純氣體中微量雜質的分析一直是色譜分析的難點.
① 熱導檢測器TCD 目前國內在高純氣體分析領域多數采用的熱導(TCD)檢測器由于靈敏度有限,很難測定5ppm以下的雜質;
② 氧化鋯檢測器 氧化鋯檢測器由于是一種選擇性的檢測器,只能分析少數幾種氣體雜質;
③ 氬離子檢測器 氬離子檢測器又往往帶有放射源,均不能達到高純氣體分析的基本要求.隨著國內高純氣體行業的發展和氣體用戶對氣體純度的要求越來越高,以上幾種檢測器已經不能完成對高純氣體中微量雜質的檢測.
④ 電子捕獲檢測器ECD 此檢測器靈敏度高,卻含有放射源,對人體有害,一般單位未經許可不允許使用。
⑤ 氦離子檢測器 HID 從前使用的HE離子檢測大都是進口的,進口的氦離子報價100多萬,價格比較貴。
新的發展趨勢
至南京科捷分析儀器有限公司自主研發出脈沖放電氦離子化氣相色譜儀,并申請國家專利(專利號:ZL2006 2 0074774.X)后,此儀器對高純氣體分析有很好的響應,國內能檢測到PPb級含量的檢測器。相比以前常使用的檢測器,他的優點在于:
檢測器種類 通用性 靈敏度 線性范圍 載氣 是否明火
TCD熱導檢測器 通用 低 一般 一種 否
FID氫火焰檢測器 對特定氣體 高 一般 氫氣、空氣、氮氣或氦氣三種 是
HID氦離子檢測器 通用 很高 寬 氦氣 否
氫火焰檢測器(FID)是最近30年來除熱導(TCD)池外用量最大的檢測器。這種色譜可以廣范用于電力、石化、煉油行業。但是由于氫火焰色譜需要氫氣、空氣、氮氣或氦氣三種氣體,而且工作環境中有明火存在,這就造成了潛在的危險,尤其是在石化、煉油企業。而氦放電離子化檢測器不需要氫氣作載氣,也沒有明火,所以它是氫火焰檢測器的理想替代品。脈沖放電氦離子氣相色譜儀集通用、高靈敏度、線性范圍寬的三大特點于一身,它幾乎可以適用于氣相色譜應用的所有領域。此種氦離子檢測器將會成為未來氣相色譜儀檢測器的發展趨勢。
氦離子氣相色譜儀在·高純氣體檢測分析中的應用
高純氣體的檢測拿氫氣來舉例,一般檢測其中O、N、CO、CO2等雜質含量,而對于5個9的高純氣體來說,這些含量是非常小的,只有2個PPM,一般國內檢測器無能為力。而氦離子檢測器能檢測各種有機、無機成份,檢測限到PPb極,能滿足檢測高純氣體微量雜質的需求。
國外的技術起步也比較晚,我們國內色譜儀生產廠家應該抓住機遇及時趕上,在這一領域占有一席之地,為我國的工業、農業、環保等事業發展提供強有力支持。
目前高純氣體分析的形式
高純氣體中微量雜質的分析一直是色譜分析的難點.
① 熱導檢測器TCD 目前國內在高純氣體分析領域多數采用的熱導(TCD)檢測器由于靈敏度有限,很難測定5ppm以下的雜質;
② 氧化鋯檢測器 氧化鋯檢測器由于是一種選擇性的檢測器,只能分析少數幾種氣體雜質;
③ 氬離子檢測器 氬離子檢測器又往往帶有放射源,均不能達到高純氣體分析的基本要求.隨著國內高純氣體行業的發展和氣體用戶對氣體純度的要求越來越高,以上幾種檢測器已經不能完成對高純氣體中微量雜質的檢測.
④ 電子捕獲檢測器ECD 此檢測器靈敏度高,卻含有放射源,對人體有害,一般單位未經許可不允許使用。
⑤ 氦離子檢測器 HID 從前使用的HE離子檢測大都是進口的,進口的氦離子報價100多萬,價格比較貴。
新的發展趨勢
至南京科捷分析儀器有限公司自主研發出脈沖放電氦離子化氣相色譜儀,并申請國家專利(專利號:ZL2006 2 0074774.X)后,此儀器對高純氣體分析有很好的響應,國內能檢測到PPb級含量的檢測器。相比以前常使用的檢測器,他的優點在于:
檢測器種類 通用性 靈敏度 線性范圍 載氣 是否明火
TCD熱導檢測器 通用 低 一般 一種 否
FID氫火焰檢測器 對特定氣體 高 一般 氫氣、空氣、氮氣或氦氣三種 是
HID氦離子檢測器 通用 很高 寬 氦氣 否
氫火焰檢測器(FID)是最近30年來除熱導(TCD)池外用量最大的檢測器。這種色譜可以廣范用于電力、石化、煉油行業。但是由于氫火焰色譜需要氫氣、空氣、氮氣或氦氣三種氣體,而且工作環境中有明火存在,這就造成了潛在的危險,尤其是在石化、煉油企業。而氦放電離子化檢測器不需要氫氣作載氣,也沒有明火,所以它是氫火焰檢測器的理想替代品。脈沖放電氦離子氣相色譜儀集通用、高靈敏度、線性范圍寬的三大特點于一身,它幾乎可以適用于氣相色譜應用的所有領域。此種氦離子檢測器將會成為未來氣相色譜儀檢測器的發展趨勢。
氦離子氣相色譜儀在·高純氣體檢測分析中的應用
高純氣體的檢測拿氫氣來舉例,一般檢測其中O、N、CO、CO2等雜質含量,而對于5個9的高純氣體來說,這些含量是非常小的,只有2個PPM,一般國內檢測器無能為力。而氦離子檢測器能檢測各種有機、無機成份,檢測限到PPb極,能滿足檢測高純氣體微量雜質的需求。
國外的技術起步也比較晚,我們國內色譜儀生產廠家應該抓住機遇及時趕上,在這一領域占有一席之地,為我國的工業、農業、環保等事業發展提供強有力支持。
GC8800H型高純氣體分析專用氣相色譜儀技術參數 :
穩定性:基線漂移≤30μv/0.5h 噪音≤10μv;
溫度控制:~350℃±0.1℃
靈敏度:
1.TCD高純H2,作載氣,進樣1μl空氣,N2峰高≥600mm;
2.高純Ar作載氣,進樣1μl空氣,N2峰高≥240mm;
3.8800H型可檢測高純氣體中H21ppm、O22ppm;
4.8820H型可檢測高純氣體中CO:0.2ppm、CO20.5ppm、CH40.3ppm.
GC8800H型高純氣體分析專用氣相色譜儀主要特點:
配置:TC-1H型高靈敏度熱導檢測器 熱導元件~200Ω、 帶氣體進樣器系統、雙氣路、專用色譜柱、帶放大器的恒流源、恒溫溫控。
用途:用于分析高純氬(Ar)、高純氦(He)、高純氫(H2)、高純氮(N2)中的微量H2、O2、N2等雜質組份。 (99.999%) 最小檢測濃度:H2:1ppm、O2:2ppm、N2:5ppm。
注:要求載氣純度優于99.999%。 儀器介紹 H型氣相色譜儀經過不斷改進和完善,已成功地應用于:化學工業氣體質量監督檢驗中心、中國空分設備公司、天津亞力氣體公司、天津BOC、上海BOC、上海803所、上海測試技術研究所、北京氧氣廠特氣研究所、北京福東氣體制品公司、北京東方電子集團公司、北京華元氣體公司、西南化工研究院、四川成都六菱化工公司、大連特種氣體公司、江蘇靖江特氣公司、珠海特氣公司、廣州特氣公司、華南特氣研究所、佛山群雄氣體公司、佛山科的氣體公司、佛山梅塞爾氣體公司、上海三鋼梅塞爾氣體產品公司、陜西BOC、重慶氣體制造廠、杭州氣體廠、上海浦東氣體公司、吉化公司化肥廠、浙江江山化工總廠、四川簡陽空分集團公司、上海石油化工研究院、上海石化芳烴廠、上海涇福氣體公司、大連化物所、山東半導體所、山東萊蕪鋼廠以及鞍鋼、馬鋼、攀鋼、本鋼、廣鋼、寶鋼、酒鋼等單位,并與大型空分設備配套出口應用到菲律賓、印度尼西亞、敘利亞、朝鮮等國家。
相關產品鏈接:
· GC900A(Ⅱ)氣相色譜儀(大屏幕液晶)· GC900A系列高性能氣相色譜儀· GC9900系列氣相色譜儀(分析單元模塊化)『實用新型專利號:ZL02267196X· GC9800系列實用型氣相色譜儀· GC910系列小型氣相色譜儀· GC900/TVOC專用氣相色譜儀(專利產品)· GC8800H型高純氣體分析專用氣相色譜儀· GC900AD(II)型變壓器油氣體分析專用氣相色譜儀· GC9800RFP-1型熱裂解氣相色譜儀· GC9800RFP-2型熱裂解氣相色譜儀· GC9800TH型氣相色譜儀(氣體分析)· GC9800FH型高純氣體分析氣相色譜儀· GC9800TFH型氣體分析氣相色譜儀· HL-800二次熱解吸儀
· HL3000系列通用型色譜工作站 · HL3000系列變壓器油色譜工作站
相關詞:
高性能氣相色譜 實用型氣相色譜 TVOC氣相色譜儀 高純氣體分析氣相色譜儀 氣體氣相色譜儀 高純氣體氣相色譜儀 變壓器油氣體氣相色譜儀 熱裂解氣相色譜 變壓器油色譜工作站 色譜工作站
高純氣體分析GC-7860-H
序號 | 產品名稱 | 規格型號 | 相關配置 | 備注 |
1 | 氣相色譜儀主機 | GC-7860-H | 大屏幕LCD藍色背光顯示,雙氣路結構,8階程升自動后開門 | |
2 | 高靈敏度熱導檢測器 | 7860-HTCD | 靈敏度:≥10000mV·ml/mg(正十六烷/異辛烷)。 | 可安裝毛細柱或改成單氣路結構 |
3 | 毛細柱進樣器 | 7860-SPL | 分流/不分流 | |
4 | 氫火焰檢測器 | 7860-FID | 檢測限:≤8×10-12g/s(正十六烷/異辛烷)自動點火,穩定時間10min | |
5 | 甲烷轉化爐 | | | |
6 | 載氣純化器 | | 純化載氣到>99.9999% | |
7 | 熱導信號放大板 | | | |
8 | 六通進樣閥 | | | 可選擇進口自動閥 |
9 | 色譜分析柱 | | 根據需要配置 | 進口填料 |
*10 | 電腦,打印機 | 品牌 | ||
*11 | 載氣 | | | 自備 |
*12 | 低噪音空氣泵 | 2000型 | | |
*13 | 高純氫氣發生器 | 300型 | | |
氣體種類 | 項目 | 指標 | ||
優等品 | 一等品 | 合格品 | ||
高純氮 | 氮氣純度0-2(V/V) ≥ | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
氧含量,10-6(V/V) ≤ | 1.0 | 2.0 | 3.0 | |
氫含量,10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1.0 | 1.0 | |
CO、CO2、CH4總含量,10-6(V/V)≤ | 1.0 | 2.0 | 3.0 | |
高純氬 | 氬純度, 10-2(V/V) ≥ | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 2 | 4 | 5 | |
氫含量,10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 1 | |
總碳含量(以甲烷計)10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 2 | |
高純氦 | 氦氣純度, 10-2(V/V) ≥ | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
氫含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.5 | 1 | |
氧(氬)含量10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 1 | |
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 2 | |
一氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.2 | 0.5 | |
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.2 | 0.2 | 0.5 | |
甲烷含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.2 | 0.5 | |
高純氫 | 氫純度, 10-2(V/V) ≥ | 99.999 | ||
氧(氬)含量10-6(V/V) ≤ | 1 | |||
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 5 | |||
一氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 1 | |||
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 1 | |||
甲烷含量,10-6(V/V) ≤ | 1 | |||
超純氫 | 氫純度, 10-2(V/V) ≥ | 99.9999 | ||
氧(氬)含量10-6(V/V) ≤ | 0.2 | |||
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 0.4 | |||
一氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 | |||
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 | |||
甲烷含量,10-6(V/V) ≤ | 0.2 | |||
高純氧 | 氧純度, 10-2(V/V) ≥ | 99.999 | 99.998 | 99.995 |
氬含量,10-6(V/V) ≤ | 2 | 5 | 10 | |
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 5 | 10 | 20 | |
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 1 | |
總碳含量(以甲烷計)10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 2 |
俊齊儀器設備(上海)有限公司
銷售電話:/57786311
技術部:13761342293
A90 高性能采用HID氦離子檢測器,自動閥切換,可靠性好精確度高 高純氦氣,氫氣,氬氣,氮氣,氧氣分析技術方案
A90 高性能采用HID氦離子檢測器,自動閥切換,可靠性好精確度高 高純氦氣,氫氣,氬氣,氮氣,氧氣分析技術方案 測定成分和測定范圍: H2 25ppb~100ppm O2/AR 30ppb~100ppm N2 25ppb~100ppm CH4 20ppb~100ppm CO 30ppb~100ppm CO2 20ppb~100ppm
|
技術參數 | ||
PDHID檢測器(Valco原裝進口)對6種氣體的檢測限(ppb) H2:5 O2: 50 N2:10 CO:25 CH4:5 CO2:5 | ||
主要特點 | ||
Valco公司全球領先的PDHID-50ppb痕量檢測 Valco公司全球領先的自動閥系統 Valco公司全球領先的氣體純化系統 華愛公司流的中心切割及反吹技術 | ||
| ||
PDHID是利用氦中穩定的,低功率脈沖放電作電離源,使被測組分電離產生信號。PDHID是非放射性檢測器,對所有物質均有高靈敏度的正響應。1. 脈沖放電間隔和功率 PDHID中放電電極距離為1.6mm,改變充電時間可改變經過初級線圈的放電功率。充電時間越長、功率越大。一般脈沖間隔為200-300μs,充電時間在40-45μs,基流和響應值達。因放電時間僅為1μs,而脈沖周期達幾百微秒,絕大部分時間放電電極是空載。所以放電區不會過熱。2. 偏電壓 在放電區相鄰的電極上加一恒定的負偏電壓。響應值隨偏電壓的增加而急劇增大,很快即達飽和。在飽和區響應值基本不隨偏電壓而改變。PDHID在飽和區內工作,噪聲較低。基流與偏電壓的關系同響應值與偏電壓。3. 通過放電區的氦流速 氦通過放電區有兩個目的:a 保持放電區的潔凈,以便氦被激發;b 它作為尾吹氣加入,以減少被測組分在檢測器的滯留時間。只是它和傳統的尾吹氣加入方向相反。池體積為113ul,對峰寬為5s的色譜峰,要求氦流速為6.8-13.6ml/min,如果峰寬窄至1s,流速應提高到34-68ml/min,以保持被測組分在檢測器的滯留時間短至該峰寬的10%-20%。4. 電離方式和性能特征 PDHID的電離方式尚不十分明朗,綜合文獻敘述,電離過程有三部分組成:a 氦中放電發射出13.5-17.7eV的連續輻射光進行光電離;b 被高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB,產生信號,或直接電離載氣和雜質產生基流;c 亞穩態氦與組分反應電離產生信號,或與雜質反應電離產生基流。.e + AB→AB+ + 2ee + He→He**→ He* + hνHe* + AB→AB+ + e + He |
氣體種類 | 項目 | 指標 | ||
優等品 | 一等品 | 合格品 | ||
高純氮 | 氮氣純度0-2(V/V) ≥ | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
氧含量,10-6(V/V) ≤ | 1.0 | 2.0 | 3.0 | |
氫含量,10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1.0 | 1.0 | |
CO、CO2、CH4總含量,10-6(V/V)≤ | 1.0 | 2.0 | 3.0 | |
高純氬 | 氬純度, 10-2(V/V) ≥ | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 2 | 4 | 5 | |
氫含量,10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 1 | |
總碳含量(以甲烷計)10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 2 | |
高純氦 | 氦氣純度, 10-2(V/V) ≥ | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
氫含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.5 | 1 | |
氧(氬)含量10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 1 | |
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 2 | |
一氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.2 | 0.5 | |
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.2 | 0.2 | 0.5 | |
甲烷含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.2 | 0.5 | |
高純氫 | 氫純度, 10-2(V/V) ≥ | 99.999 | ||
氧(氬)含量10-6(V/V) ≤ | 1 | |||
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 5 | |||
一氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 1 | |||
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 1 | |||
甲烷含量,10-6(V/V) ≤ | 1 | |||
超純氫 | 氫純度, 10-2(V/V) ≥ | 99.9999 | ||
氧(氬)含量10-6(V/V) ≤ | 0.2 | |||
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 0.4 | |||
一氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 | |||
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.1 | |||
甲烷含量,10-6(V/V) ≤ | 0.2 | |||
高純氧 | 氧純度, 10-2(V/V) ≥ | 99.999 | 99.998 | 99.995 |
氬含量,10-6(V/V) ≤ | 2 | 5 | 10 | |
氮含量,10-6(V/V) ≤ | 5 | 10 | 20 | |
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 1 | |
總碳含量(以甲烷計)10-6(V/V) ≤ | 0.5 | 1 | 2 |
| ||||||||||||||
一、氦離子化檢測器(Valco公司全球領先的PDHID-50ppb痕量檢測) PDHID是利用氦中穩定的,低功率脈沖放電作電離源,使被測組分電離產生信號。PDHID是非放射性檢測器,對所有物質均有高靈敏度的正響應。 1.脈沖放電間隔和功率 PDHID中放電電極距離為1.6mm,改變充電時間可改變經過初級線圈的放電功率。充電時間越長、功率越大。一般脈沖間隔為200-300μs,充電時間在40-45μs,基流和響應值達。因放電時間僅為1μs,而脈沖周期達幾百微秒,絕大部分時間放電電極是空載。所以放電區不會過熱。 2.偏電壓 在放電區相鄰的電極上加一恒定的負偏電壓。響應值隨偏電壓的增加而急劇增大,很快即達飽和。在飽和區響應值基本不隨偏電壓而改變。PDHID在飽和區內工作,噪聲較低。基流與偏電壓的關系同響應值與偏電壓。 3.通過放電區的氦流速 氦通過放電區有兩個目的:a 保持放電區的潔凈,以便氦被激發;b 它作為尾吹氣加入,以減少被測組分在檢測器的滯留時間。只是它和傳統的尾吹氣加入方向相反。池體積為113ul,對峰寬為5s的色譜峰,要求氦流速為6.8-13.6ml/min,如果峰寬窄至1s,流速應提高到34-68ml/min,以保持被測組分在檢測器的滯留時間短至該峰寬的10%-20%。 4.電離方式和性能特征 PDHID的電離方式尚不十分明朗,綜合文獻敘述,電離過程有三部分組成:a 氦中放電發射出13.5-17.7eV的連續輻射光進行光電離;b 被高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB,產生信號,或直接電離載氣和雜質產生基流;c 亞穩態氦與組分反應電離產生信號,或與雜質反應電離產生基流。. e + AB→AB+ + 2e e + He→He**→ He* + hν He* + AB→AB+ + e + He 二、 GC8890H氣相色譜儀 |
主要特性:
1、全兼容惠普HP5890II氣相色譜儀,可直接接駁HP5890微型單絲熱導檢測器、氫火焰離子化檢測器及相關檢測器控制板.儀器技術指標、性能,檢測器靈敏度可與HP5890'相媲美!
2、集成數字電子電路,控制精度高,性能穩定,溫控精度可達0'.0'1℃.
3、獨特的進樣口設計解決進樣歧視;雙柱補償功能不僅解決升溫帶來的程序漂移,而且減去背景噪音的影響,可以得到更低的最小的檢測限。
4、柱箱容積大,智能后開門系統無級可變進出風量,縮短了程序升/降溫后系統穩定平衡時間;加熱爐系統:(溫度范圍)環境溫度+7℃~400℃.三階程序升溫,升溫速率0-50℃/min;增量0.1℃/min可以由用戶重新校正爐溫,并隨意設定溫度。由用戶決定加熱爐溫度平衡時間。
5、可同時安裝兩種進樣系統:填充柱、毛細管分流/不分流進樣系統(具有隔膜清掃功能);可同時安裝兩種相同或不同的檢測器:氫火焰離子化檢測器(FID)、熱導檢測器(TCD).可選配自動/手動氣體六通進樣閥進樣器、頂空進樣器、熱解析進樣器、裂解爐進樣器、甲烷轉化爐.
6、檢測器系統:
a.環境好:沒有放射源,老的HID檢測器放射源因受半衰期的影響,能量隨時間逐漸下降,使儀器不能保持長時間穩定,且易造成嚴重的環境污染。b.靈敏度高:對大多數化合物檢測限在10ppb量級,與放射源氦離子化檢測器(HID)靈敏度相近。c.通用型:原則上可以檢測除氖氣以外所有物質,根據實際需要,選用不同色譜柱可以測定多種高純氣中多種雜質氣體成分,還可以配接毛細管柱,擴大分離效能,檢測更多種成分。d.安全性好:與火焰離子化檢測器(FID)相比,只需要一種氣體,它沒有明火,不需要氫氣,安全性高。e.多模式工作:一個檢測器可以實現放光離子化、電子捕獲等工作模式,相當于多個檢測器.
7、具有開機自診斷功能、秒表功能(方便流量測定)、運轉定時器功能、停電儲存保護功能、鍵盤鎖定功能。
技術指標:
溫 控 檢測器HID
控溫范圍:室溫上7℃~400℃(增量0.1℃) 基線噪聲 :≤0.2mV程升階數:三階 基線漂移: ≤0.5mV/30min程升速率:0.1℃~50℃/min(增量0.1℃) 檢測限 :≤5×10-12g/s(正十六烷)
儀器成套配置:
1. GC8890H氣相色譜儀 1臺
2. 色譜工作站 1套
3. 自動電動六通進樣閥 1套
4. 載氣純化裝置 1套
歡迎來電咨詢,或登錄公司網站 廣州北銳精密儀器有限公司
在線高純氣體分析色譜儀
儀器外觀
Trend Vision 工作站
載氣純化器
雜質 | H2 | Ar | O2 | N2 | CH4 | CO | CO2 | N2O | Ne | Kr | Xe |
靈敏度(ppb) | <15 | <10 | <10 | <10 | <5 | <20 | <10 | <10 | <20 | <10 | <10 |
AGC氣體分析
設計思路
在線高純氣體分析色譜儀
儀器外觀
Trend Vision 工作站
載氣純化器
雜質 | H2 | Ar | O2 | N2 | CH4 | CO | CO2 | N2O | Ne | Kr | Xe |
靈敏度(ppb) | <15 | <10 | <10 | <10 | <5 | <20 | <10 | <10 | <20 | <10 | <10 |
AGC氣體分析
設計思路