其它產(chǎn)品及廠家
系統(tǒng)由真空腔室（外延室、進(jìn)樣室）、樣品傳遞機(jī)構(gòu)、樣品架、旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)、真空排氣、真空測(cè)量、電器控制、配氣、計(jì)算機(jī)控制等各部分組成。1、★★外延室：極限真空優(yōu)于：5.0x10-8pa真空漏率小于2.0x10-8pa.l/s
更新時(shí)間:2025-05-07
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