1.方塊電阻范圍:10-3~2×105Ω/□
2.電阻率范圍:10-4~2×106Ω-cm
3.測試電流范圍:0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
4.電流精度:±0.2%讀數
5.電阻精度:≤0.3%
6.顯示讀數:液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率
7.測試方式: 雙電測量
8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W
9.整機不確定性誤差: ≤4%(標準樣片結果)
10.選購功能: 選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺
11.測試探頭: 探針間距選購:1mm;2mm;3mm三種規格; 探針材質選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針
智能型雙電測四探針測試儀應用領域
覆蓋膜;導電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導體材料、薄膜材料方阻測試智能型雙電測四探針測試儀適用范圍
硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻 半導體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件,導電薄膜(ITO導電膜玻璃等),金屬膜,導電漆膜,蒸發鋁膜,PCB銅箔膜,EMI涂層等物質的薄層電阻與電阻率 導電性油漆,導電性糊狀物,導電性塑料,導電性橡膠,導電性薄膜,金屬薄膜, EMI 防護材料,導電性纖維,導電性陶瓷等,提供中文或英文兩種語言操作界面選擇
測量范圍 | 電阻率:0.0001~2000Ω.cm(可擴展); 方塊電阻:0.001~20000Ω/□(可擴展); 電導率:0.0005~10000 s/cm; 電阻:0.0001~2000Ω.cm; |
可測晶片厚度 | ≤3mm |
可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺); 200mmX200mm(配S-2B型測試臺); 400mmX500mm(配S-2C型測試臺); |
恒流源 | 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續可調 |
數字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1% ; 顯示:四位半紅色發光管數字顯示;極性、超量程自動顯示; |
四探針探頭基本指標 | 間距:1±0.01mm; 針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 機械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力); |
四探針探頭應用參數 | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87進行) | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整機測量最大相對誤差 | (用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4% |
整機測量標準不確定度 | ≤4% |
測試標準 | 采用雙電測測試標準,通過RTS-5雙電測測試軟件控制四探針測試儀進行測量并實時采集兩次組合模式下的電壓值,然后根據雙電測測試原理公式計算出電阻值。儀器主機也可兼容RTS-4四探針測試軟件實現單電測測試標準,兩套軟件可同時使用。 |
軟件功能 | 軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數據,并統計分析測試數據最大值、最小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數據生成直方圖,也可把測試數據輸出到Excel中,對數據進行各種數據分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 |
計算機通訊接口 | 并口,高速并行采集數據。 |
標準使用環境 | 溫度:23±2℃; 相對濕度:≤65%; 無高頻干擾; 無強光直射; |
技 術 指 標 : | ||||||||||||||||||||||||||||
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雙電測四探針測試儀 四探針測量儀型號:SN/RTS-5