PN000114便攜式有毒氣體檢測儀，便攜式半導體材料氣體檢測儀，半導體材料氣體檢漏儀（自動吸引式）
便攜式有毒氣體檢測儀，便攜式半導體材料氣體檢測儀，半導體材料氣體檢漏儀（自動吸引式） 最適合于檢測半導體材料氣體的微量泄漏采用聲光報警。檢測對象氣體：半導體材料氣體（砷、膦、乙、硅烷、氫氣等） 檢測原理：熱線型半導體式采樣方式：自動吸引式可檢測濃度（單位：ppm）：砷烷（AsH3）0.2； 磷烷 （PH3）0.3 ； 乙（B2H6）0.1； 硅烷（SiH4）0.5； 氫氣（H2）1.0檢測表示：蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍 應答速度：10秒以內 
XPS-7廣東省XPS-7半導體材料氣體檢測儀
特點：只要更換傳感器單元就可以檢測各種對象氣體。 用盒式傳感器單元無需進行氣體檢測器校正。可以大幅度削減成本和維護時間。
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檢測氣體一覽表：
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