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缺陷分析－超聲波掃描顯微鏡（ＳＡＭ）

聲學顯微鏡，學名是：掃描聲學顯微鏡Scanning Acoustic Microscope，簡稱SAM。它是基于聲波脈沖反射和透射原理工作的，只要聲波信號在樣品表面或者內部遇到聲波阻抗（如遇到孔隙、氣泡等），就會發生反射。

SAM主要用于材料淺表層結構分析、材料力學性能的檢測、無損檢測等。

A、雜質顆粒、夾雜物、沉淀物等

B、裂紋

C、分層缺陷、附著物以及其他夾雜物

D、空洞、氣泡、空隙等

SAM與X-RAY的主要區別

	SAM	X-RAY
成像模式	反射模式和穿透模式	穿透模式
原理	聲波脈沖反射和透射	基于材料密度的差異
材料的穿透性	密集和疏松的固體都能	金屬材料穿透較差
對空氣的敏感性	空氣能阻斷超聲波傳輸，確定焊接層、粘接層、填充層、涂鍍層、結合層的完整是SAM獨特的性能	對空氣不是非常敏感，裂紋虛焊等不能被觀測到
材料的無損性	使用于MHz超聲波，不會產生氣穴，完全無損	較長時間檢測，可能會產生損壞和隨機的電子錯誤
所得圖像	可以分層展現材料內部一層一層的圖像	整個樣品厚度的一個合成圖像

儀器簡介：德國KSI-SAM

一、1990年，世界上第一個做出頻率超過GHz的超1990年，世界上第一個做出頻率超過GHz的超聲波掃描顯微鏡，到目前為

止，其他同類儀器公司只能做到200MHz 左右；

二，1991年，世界上第一個在超聲波顯微鏡中做出GHz V（z）, V（f）定量測量系統；

三，1996年，推出世界上第一臺數字超聲波顯微鏡；

四，1998年，世界上第一個做出帶有球面透鏡的超聲波換能器；

五，2002年，世界上第一個在超聲波顯微鏡上實現材料阻抗測量；

六，2004年，世界上第一個在超聲波顯微鏡掃描控制平臺中采用空氣墊懸浮線性馬達驅動的超高精度X-Y掃描系統；

七，2004年，世界上第一個實現超聲波顯微鏡自動對焦系統，并受到專利保護；

八，2004年，世界上第一個實現多探頭同時掃描大件樣品的超聲波顯微鏡系統，并受到專利保護。

該公司產品分類：表面微區分析應力分析缺陷分析形貌分析結構分析成分分析元素分析

VEGA 3 Easyprobe掃描電鏡能譜一體機，一體機掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡

掃描電鏡能譜一體機，一體機掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡

廣州高測儀器有限公司專業代理泰思肯（美國）品牌的掃描電子顯微鏡（簡稱電鏡），我們做的產品類別有：場發射掃描電鏡，鎢燈絲掃描電鏡，大樣品室掃描電鏡，超級聚焦離子束掃描電鏡，場發射電子顯微鏡，鎢燈絲掃描電子顯微鏡，離子束電子顯微鏡，透射顯微鏡，透射電鏡，透射掃描電鏡，礦物分析掃描電鏡，掃描電鏡（SEM）,有拉曼式生物顯微鏡，我們還有各種齊全的電鏡耗材，歡迎大家前來咨詢！

泰思肯（美國）品牌是目前最先進的電鏡廠家，我們都是原裝進口的產品，能很好幫助用戶解決所需問題，不但口碑好，還是質量好，高效節能，操作方便。

掃描電鏡能譜一體機，一體機掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡掃描電鏡能譜一體機儀器簡介：

VEGA 3 EasyProbe可分為高真空型和可變真空型，其運用的領域非常廣泛，適合各類高等院�；蚬具x擇。EasyProbe是SEM/EDS一體化機型，實現了One-Touch式的操作，使得操作非常簡單，甚至沒有經驗的人員也可以在一天內學會操作。此外，EasyProbe可以說是性價比最高的一款SEM/EDS一體機，軟件配置完整，硬件延續原有的VEGA并得到進一步發展，是值得信賴的一款SEM/EDS一體機。

掃描電鏡能譜一體機，一體機掃描顯微鏡，能譜掃描電鏡掃描電鏡能譜一體機主要特點： VEGA 3 Easyprobe是一款掃描電鏡和能譜一體化操作的設備，設備可以觸摸屏進行控制和操作，具有所有圖像操作和處理功能以及一鍵式EDX分析工具欄。當一鍵式EDX工具被激活時，系統顯示實時SEM圖片上選定區域的定量分析結果。

系統根據用戶的技能水平可分為3個等級對電鏡進行控制。電鏡的所有功能都由觸摸屏或鍵盤，鼠標和軌跡球或者選配的控制臺通過Window™平臺上的VegaTC軟件控制。

相關儀器：

美國賽默飛世爾（Thermo Fisher）-尼通：手持式X射線光譜儀

德國斯派克（Spectro）：直讀光譜儀、便攜式直讀光譜儀

捷克泰思肯：掃描電鏡，熱場發射掃描電鏡，鎢燈比電子顯微鏡，超大樣品室掃描電鏡，等離子束掃描電鏡

日本島津（Shimadzu）：EDX Rohs專用熒光光譜儀、X射線熒光光譜儀、X射線衍射儀（XRD）、工業CT、X射線探傷儀

美國PE珀金埃爾默公司（Perkin Elmer）：等離子體發射光譜儀（ICP）、原子吸收光譜儀、帶捕集阱頂空進樣器、熱脫附

美國利曼公司（Leeman Labs）：自動測汞儀、自動液體測汞儀、自動固體測汞儀

日本日立（Hitachi）：X射線熒光測厚儀

意大利GNR：全反射X射線熒光光譜儀、殘余應力檢測儀、殘余奧氏體檢測儀

該公司產品分類：紅外光譜儀 X射線衍射儀全自動測汞儀掃描電鏡耗材掃描電鏡直讀光譜儀手持式光譜儀

KYKY-EM6900電子掃描顯微鏡KYKY-EM6900

KYKY-EM6900掃描電鏡主要參數

1.電子光學系統

（1）電子槍：發叉結構鎢絲陰極；

（2）分辨率：二次電子像分辨率優于 3.0nm（30KV）；

（3）放大倍率：8×～300,000×；

（4）加速電壓：0 V～30kV，連續可調；

（5）自動功能包括：自動電子槍加熱、自動對中、自動加束流、自動加偏壓、自動聚焦&消像散、自動象散記憶、自動對比度、自動亮度，實現一鍵看像功能，自動故障檢測、自動校正等；

2.樣品室和樣品臺

（1）樣品臺：五軸高精密樣品臺。

X移動方向不低于80mm，Y軸移動方向不低于60mm，Z軸移動方向不低于50mm，傾斜范圍為-5°～ +90° ，旋轉方向為 360°；

（2）可放置最大樣品尺寸：直徑110mm；

3.真空系統

渦輪分子泵和機械泵，可保持設備長期的高分辨；

KYKY-EM6900 SEM major parameters

1.electron-optical system

（1）electron gun ：Hair fork structure tungsten cathode；

（2）Resolution： Secondary electron as resolution better than 3.0nm（30KV）；

（3）Magnification：8×～300,000×；

（4）Acceleration voltage：0 V～30kV，continuously adjustable；

（5）automatic function include ：Automatic heat gun、automatic centering、automatic beam 、automatic bias、automatic focus &stigmatic、Astigmatic memory automatically、Auto Contrast 、Auto Brightness ，achieve a key to look at the view ，Automatic Fault Detection、Automatic correction etc.

2.Sample room ａnd samples

（1）stage：Five-axis high precision samples stage 。

Not less than 80 mm X direction，Not less than 60 mm Y direction，Not less than 50 mm Z direction，Tilt Margin -5°～ +90° ，direction of rotation 360°；

（2）Can place the largest sample size：diameter 110mm；

3.Vacuum system

Turbo molecular pump ａnd mechanical pump，Can keep the equipment of high resolution for a long time；

該公司產品分類： Itaca三坐標三維激光掃描儀掃描電子顯微鏡 RAM 系列 OGP系列 CCP系列 View 系列

廠家直供專業掃描顯微鏡，西藏自治區掃描顯微鏡貨源

科視達自成立起一直專注C-SAMx3c198an、德國PVA顯微鏡等產品生產，公司擁有多條超聲波掃描顯微鏡、超聲掃描檢測生產線，目前已成為超聲掃描顯微鏡行業整套解決方案服務商。

超聲掃描顯微鏡產品基本資料如下：產品名稱：掃描顯微鏡；品牌商標：科視達；價格：1；售后服務：優質；德國PVA顯微鏡產品詳細說明：超聲波掃描顯微鏡的工作原理、基本工作流程及主要用途超聲波掃描顯微鏡工作原理：超聲波是一種機械波，其傳播方式是通過介質中的分子振動來傳遞的，因此超聲波對于分子被測材料有密切的關系，材料的密度越大，超聲波傳播的速度越高，反之，材料的密度越小，聲波的傳播速度越低。因此超聲波檢測用被廣泛用于電子元器件和材料的質量控制與檢測，實現非破壞性的無損檢測。儀器使用時將帶有聚焦功能的高頻超聲波換能器安裝在掃描控制系統上，在軟件界面，選用不同掃描模式，通過逐點掃描的方式，檢測材料內部，經過超聲發射，（DPR 信號發生器接收及ADC卡電子信號采集與處理，從而在工控機屏幕上形成一個試件內部結構的顯微圖像。再通過控制系統，放大顯微成像后傳輸到顯視器，從而觀察材料內部結構的情況，挑選出內部有缺陷的試件。超聲波掃描顯微鏡基本工作流程：1）將被測試件放入工作水槽內；2）將帶有聚焦功能的高頻超聲波換能器安裝在掃描控制系統上，在軟件界面，選用不同掃描模式，通過逐點掃描的方式，檢測材料內部，經過超聲發射，接收及電子信號處理，從而形成一個試件內部結構的顯微圖像，目前最高分辨率可大到微米級。3）通過接受內部波形的門限選擇，像CT一樣，對被測試件的內部結構進行斷層掃描；4）通過高性能的專用工控機的大屏幕顯示器顯示出每一層測試結果的顯微圖像，從而挑選出內部有缺陷的試件；5）針對不同被測試件，更換不同頻率和焦距的換能器進行測試超聲波掃描顯微鏡主要功能：可檢測并分析元器件和材料內部是否有裂紋，空洞，氣泡，夾雜物，附著物，分層缺陷等。對X-ray，電鏡不能分辨的裂紋及封裝技術研發過程中粘接層、填充層、涂鍍層、結合層通過無損掃描進行分析。

科視達在全國建有強大的德國PVA顯微鏡、售后服務網絡，多名技術顧問及售后工程師遍及全國各地區，能為用戶提供優質、高效的服務保證�？埔曔_德國PVA顯微鏡經多年市場驗證，提供從報價到售后服務全程跟蹤的一條龍服務，求購服務周到的德國PVA顯微鏡、，選擇科視達，歡迎訪問：www.questar.com.cn。

該公司產品分類：掃描顯微鏡

V400德國KSI 超聲波掃描顯微鏡

德國KSI（中國）服務中心

德國KSI 硅片鍵合缺陷檢測系統 / IGBT模組缺陷檢測系統咨詢電話：021-3467 3715

德國KSI公司的中國服務中心超聲波掃描顯微鏡，英文是：Scanning Acoustic Microscope，簡稱SAM，由于它的主要工作模式是C模式，因此也簡稱：C-SAM�，F在做失效分析的第三方實驗室里，這個設備直接被通稱為C-SAM，就像X射線透射機被通稱為X-Ray一樣。

上個世紀的90年代中，微電子器件的大規模生產制程中，發現IC的Die上下表面脫層，錫球/芯片裂縫、或填膠中的裂縫、封裝材料（很多塑封材料）內部的氣孔等缺陷，無法用常規的X-ray失效分析手段檢測到，此時，一種新型的測試技術被引入到芯片的后封裝測試領域，它就是超聲波掃描顯微鏡。說是顯微鏡，其實它與常規的光學顯微鏡兩者沒有任何關系，只是因為這個設備最早是由國外廠家先行研發并投入到生產領域，這個名字也是直接從外文直譯過來，因此中文嚴格可以稱為：中高頻超聲波無損檢測系統，或許更為合適。

工作原理

換能器負責將電磁脈沖轉換成聲脈沖，離開換能器后，聲波被聲透鏡通過耦合介質（一般是去離子水或無水酒精等）聚焦在樣品上。耦合介質是為了防止超聲波信號快速衰減，因為超聲波信號在一些稀疏介質中傳播是，會快速衰減。樣品置于耦合介質中，只要聲波信號在樣品表面或者內部遇到聲波阻抗介面（如遇到孔隙、氣泡、裂紋等），就會發生反射。

另一種工作模式叫透射模式。透射掃描時，樣品下方要安裝另外一只換能器，這只換能器會接收所有完全穿透樣品的超聲波信號。根據接收的信號就能還原出各種超聲波C掃圖像。

在失效分析中的應用

晶圓面處分層缺陷
錫球、晶圓、或填膠中的開裂
晶圓的傾斜
各種可能之孔洞（晶圓接合面、錫球、填膠…等）

在失效分析中的優勢

非破壞性、無損檢測材料或IC芯片內部結構
可分層掃描、多層掃描
實施、直觀的圖像及分析
缺陷的測量及缺陷面積和數量統計
可顯示材料內部的三維圖像
對人體是沒有傷害的
可檢測各種缺陷（裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等）

應用領域

半導體電子行業：半導體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;
材料行業：復合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等；
生物醫學：活體細胞動態研究、骨骼、血管的研究等.

該公司產品分類：超聲波掃描顯微鏡

最新產品

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