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   1. 用途及特點

氣體質量流量控制器( Mass Flow Controller 簡稱MFC )能夠在較大的量程

范圍內對氣體的質量流量進行精密測量和控制。

氣體質量流量計( Mass Flow Meter 簡稱MFM )能夠在較大的量程范圍內

對氣體的質量流量進行精密測量。

它們在石化工業(yè)、半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、醫(yī)藥、環(huán)保和

真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。其典型的場合包括：電子工藝

設備，如、氧化、CVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。

Line-Tech Ltd.于對產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進。對M 系列氣

體質量流量控制器（MFC）和氣體質量流量計（MFM）進行了的技術改造，

在功能和性能上有了進一步的提高。

M 系列氣體質量流量控制器和質量流量計具有精度高、響應速度快、重

復性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下

工作)，其操作使用方便，可任意位置安裝調試，并更好的與計算機連接實現(xiàn)自

動控制。

M3100V 和M3100A 型 氣體質量流量控制器（MFC）性能指標

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）

sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）

項 目 M31000V 和M3100A

1 流量規(guī)格（N2）: 25slpm ～ 120slpm

（本公司可以為客戶在25slpm ～ 120slpm范圍內任何區(qū)域標定）

2 度 :±1% F.S （Full Scale）

3 重復精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）

4 響應時間 :≤3sec ( 特別要求：:≤1sec )

5 耐壓 : 95 bar

6 工作環(huán)境溫度 :5 ℃ ~ 65 ℃

7 輸入輸出信號: 0 ~ 5Vdc   4 ~ 20mA

8 電源 :±15Vdc, 350mA

 

氣路接頭形式

可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

13917099687  范先生

型號 日本山武（YAMATAKE） 日本山武數(shù)字氣體質量流量控制器CMQ        數(shù)量 大量庫存        產(chǎn)品描述 CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050/0050JK/0200JK/0500JK等CMQ系列是高性能型數(shù)字式氣體質量流量控制器，使用山武公司獨有的感熱式微流量傳感器和高精度的比例閥，具有響應快、精度高、控制范圍寬等特點，能滿足多種工業(yè)控制要求。        基本系列 CMQ9200 CMQ9500 CMQ0002 CMQ0005 CMQ0020 CMQ0050 CMQ0050J/K CMQ0200J/K CMQ0500J/K流量范圍 200mL/min 0.500L/min 2.00L/min 5.00L/min 20.0L/min 50.0L/min 50.0L/min 200L/min 500L/min適用氣體 氮氣、空氣、氧氣、氬氣、二氧化碳、城市煤氣13A（LNG）、甲烷100%、丙烷100%、丁烷100%                                       控制范圍 1--100%FS                                                                                                              響應速度 0.5秒達到設定值±2%FS                                                          1秒達到設定值±2%FS                     閥門輸出更新周期 10ms                                                                                                                  精度 ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS標準差壓 98KPa 9.8KPa 98KPa 9.8KPa 98KPa 196KPa 19.6KPa 196KPa 196KPa操作差壓范圍 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa 0.98--98KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa耐壓 980KPa                                                                                                                 設定方法 1、鍵盤操作  2、外部設定電壓輸入  3、通訊                                                                                  設定輸入電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過組態(tài)設定和外部開關輸入選擇）                                                                   輸出電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過組態(tài)設定和外部開關輸入選擇）                                                                         輸出點數(shù) 報警輸出：1點 ； 事件輸出：2點                                                                                         外部開關輸入 外部3位開關輸入（OPEN/GND/5V）：1點 ；外部節(jié)電輸入（2位開關）：3點                                                       安裝方式 水平安裝，顯示部不可向下                                                                                                 電源 DC15--24V  消耗電流：300mA  max                                                DC24V / 400mA max    DC24V/500mA重量 約1.2Kg                                                                      約3.5Kg                        

上海洪柯自動化儀表公司推出的D500/D600氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller）/氣體質量流量計(Mass Flow Metre)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。廣泛應用于半導體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、醫(yī)療、電力、化工等各個領域。產(chǎn)品具有精度高、重復性好、穩(wěn)定性高、性價比高、工作壓力范圍寬、使用壽命長等特點。

流量規(guī)格（N2）：	(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM；(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM
準確度：	±1%F.S.
線性：	±0.5%F.S.
重復精度：	±0.2%F.S.
響應時間：	≤1Sec
工作壓差范圍：	(0.05~0.3)MPa
最大耐壓：	10MPa
工作環(huán)境溫度：	5~65℃
電氣連接：	8 Pin（Mini S Plug）
輸入/輸出信號	Digital：RS232/RS485； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
電源：	7~16VDC 1A；或24VDC500mA
標準接頭：	Swagelokφ3,φ6,φ10…；Swagelok 1/8″,1/4″…； VCRφ3,φ6…；VCR 1/8″,1/4″…
外形尺寸	130*28*121mm
重量約	1.0kg

氣體質量流量控制器
	產(chǎn)品特點：1.          滿量程從0.5(s)ccm到1500(s)lpm2.          響應時間10ms3.          量程比優(yōu)于100：14.          精度±0.8％讀數(shù)±0.2％fs（可選±0.4％讀   讀數(shù)±0.2％fs）5.          lcd大屏幕，動態(tài)數(shù)字同時顯示質量流量、 量、體積流量、溫度和絕壓6.          rs-232或模擬信號輸出7.          安裝位置不敏感8.    現(xiàn)場可選30種校驗氣體
差壓原理與熱式原理對照表 alicat差壓原理和熱式原理的對照表 指 標 alicat層流差壓式原理 典型熱式原理 傳感器 固態(tài)硅基差壓傳感器 rtd或熱電偶 流量范圍 滿量程從0.5sccm到1500slpm 滿量程從3sccm到1000slpm 響應時間 10毫秒(控制器100 毫秒) 0.3-3.0秒 顯示屏 標準，內置 可選項，外部裝配 預熱時間 ＜1秒 8-30分鐘 累計流量 可選項，內置 可選項，外部裝配 過程數(shù)據(jù) 內置顯示屏顯示質量流量、體積流量、在線溫度和在線絕對壓力 質量流量 輸出選項 標準內置顯示屏，模擬信號（0-5vdc,0-10vdc,1-5vdc或4-20ma）和標準rs232接口； 可采用第二路模擬輸出體積流量、溫度或絕對壓力 標準模擬輸出，可選顯示屏，可選數(shù)字輸出 數(shù)字輸出 標準輸出包括質量流量、體積流量、在線溫度、在線絕對壓力、測量氣體；可選累計流量；標準multi-dr-op rs232接口 可選質量流量數(shù)字輸出；無multi-dr-op選項 供應電源 7-30vdc,35ma的標準ac/dc轉換電源； 可使用一個標準的9v電池包供電 特殊供應電源，正和負的穩(wěn)定15vdc 過程連接 標準的npt或小巧的氣動配件，可選sae,bspp等接頭 特制swagelok?、vcr等 多種氣體測量性 可從內置菜單選擇30種標準氣體 單一氣體，需指定 固有線性 有 無 文件 內置顯示屏顯示型號數(shù)、連續(xù)號數(shù)、制造日期、校驗技術員和軟件版本、型號/連續(xù)號，簽條也同樣為標準的 產(chǎn)品的貼紙上 產(chǎn)品簡介： alicat氣體質量流量計利用兩個已研究透徹的氣體物理屬性：壓力和粘性來測量流量。通過層狀流量單元的差壓測量來計算流量，這種測量方式具有固有的線性。采用差壓、絕壓和溫度傳感器來測量并補償氣體的壓力、溫度，測量標準狀態(tài)（如1個大氣壓@25℃）下氣體的體積流量。可測量4種參數(shù)：質量流量、體積流量、溫度和絕壓，可選累計流量，并且可以通過動態(tài)顯示屏同時顯示。可選電池使得該款產(chǎn)品方便攜帶，常用于測試和校準工具。另外提供用戶定制滿足您特殊需求。    alicat氣體體積流量計采用差壓傳感器來測量當前狀態(tài)下的體積流量。由于它沒有內置絕壓和溫度傳感器，價格會便宜一些，是相對于質量流量計的另一種選擇。本地顯示：    alicat所有產(chǎn)品均提供本地顯示標準功能（無顯示產(chǎn)品可以用于oem）。質量流量控制器和體積流量控制器在主顯示上均提供了不同的過程參數(shù)信息，用戶通過按鍵可以選擇主顯示方式（main mode display）和所測的氣體(30種校驗氣體)，調節(jié)pid參數(shù)，將測量流量清零等。

    數(shù)字輸出（rs-232）：    所有的alicat產(chǎn)品均具有標準的rs-232輸出。其信號通過8針圓形接頭或6針工業(yè)連接頭傳輸。使用alicat的rs-232輸出或輸入通訊串口無需特別軟件。任何帶有終端程序的設備，例如windows®操作系統(tǒng)里的“超級終端”，均可以使用我們的alicat產(chǎn)品。rs-232可以實現(xiàn)本地顯示上的所有操作功能，例如：清零、更換校驗氣體、改變pid等。     對于質量流量控制器，通過rs-232所顯示的過程參數(shù)同其本地顯示上數(shù)據(jù)是一致的。控制功能也與每個型號的本地顯示控制模式一致（如右圖所示）。體積流量控制器的控制功能 (loop)只定位在“體積流量(volume)”上。 所有的產(chǎn)品均可以根據(jù)用戶的選擇配置為流動模式或輪循模式。模擬輸出：    模擬信號通訊同樣是由rs-232接口的8針圓形接頭來提供。默認的模擬信號是0-5vdc，可選0-10vdc或4-20ma的輸出信號。alicat質量流量控制器提供0-5vdc輸出“質量流量”，同時提供一個模擬控制設定點的針腳。質量流量控制器通過“se-lect”（出現(xiàn)在本地控制設定模式中，如右上圖所示）來控制設定點方式。可選第二路單獨模擬輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。alicat體積流量控制器提供0-5vdc輸出“體積流量”，同時提供一個模擬控制設定點的針腳。體積流量控制器通過“se-lect”（出現(xiàn)在本地控制設定模式中，參考右上圖）來控制設定點方式。應用領域:      醫(yī)藥、工業(yè)、過程控制、實驗室、oem、替換熱式質量流量計、泄漏測試選項附件：1. 電氣電纜 2. ac/dc 電源適配器 3. 特殊混合氣體 4. 遠程數(shù)字顯示（rdd） 5. 用戶化壓降設置 6. 電池包（使測試儀器便攜） 7. 多種獨立的輸出

陜西歐迅機電科技有限公司是集科研、生產(chǎn)、貿易為一體的高新技術企業(yè)專業(yè)從事大宗氣體管路輸送及相關產(chǎn)品銷售，業(yè)務包括管道工程咨詢、設計、產(chǎn)品選型及施工安裝為一體的交鑰匙服務。公司配備GF+切管機、全自動軌道式管管焊機、平口/坡口機、不銹鋼彎管機、去毛刺機等一大批高質量、高精密的進口管道施工設備，全自動軌道式管管焊機適用于焊接3mm-76mm外徑的不銹鋼薄壁管，管管自熔自動焊機采用全位置鎢極氬弧焊單面焊雙面成型的焊接方法，即管子固定，而焊炬（焊機）沿著管子均勻旋轉一周的焊接方法，極大的提高了焊接的安全可靠性。相關員工憑借10年來的行業(yè)積淀和定期的專業(yè)培訓，具有了豐富的實戰(zhàn)經(jīng)驗，期待著為您提供專業(yè)、及時、優(yōu)質的服務。我們可提供服務的行業(yè)包括高純分析測試實驗室、半導體、太陽能光伏、生物、制藥、食品、乳品、酒廠、煙草、航空航天、壓力容器、核電、造船等等。  我公司提供高溫真空管式爐、高溫氣氛式爐、馬弗爐；掃描電鏡；磁控濺射鍍膜；超音速噴涂設備、等離子噴涂設備；真空擴散；納微涂層；3D打印設備；焊燃料電池；X射線能譜儀等大型儀器的集中供氣配氣系統(tǒng)，至目前已為各科研機構配套多個項目，經(jīng)驗豐富。  我司經(jīng)銷的產(chǎn)品有：鋼瓶固定架、不銹鋼減壓器、黃銅減壓器、不銹鋼氣體匯流排、黃銅匯流排、不銹鋼自動切換面板裝置、不銹鋼背壓閥、BA級不銹鋼管內外拋光管、EP級不銹鋼內外拋光管、不銹鋼卡套式三通、不銹鋼卡套直通接頭、焊接三通、焊接變徑、氣體質量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風柜、實驗臺等。

陜西歐迅機電科技有限公司是集科研、生產(chǎn)、貿易為一體的高新技術企業(yè)專業(yè)從事大宗氣體管路輸送及相關產(chǎn)品銷售，業(yè)務包括管道工程咨詢、設計、產(chǎn)品選型及施工安裝為一體的交鑰匙服務。公司配備GF+切管機、全自動軌道式管管焊機、平口/坡口機、不銹鋼彎管機、去毛刺機等一大批高質量、高精密的進口管道施工設備，全自動軌道式管管焊機適用于焊接3mm-76mm外徑的不銹鋼薄壁管，管管自熔自動焊機采用全位置鎢極氬弧焊單面焊雙面成型的焊接方法，即管子固定，而焊炬（焊機）沿著管子均勻旋轉一周的焊接方法，極大的提高了焊接的安全可靠性。相關員工憑借10年來的行業(yè)積淀和定期的專業(yè)培訓，具有了豐富的實戰(zhàn)經(jīng)驗，期待著為您提供專業(yè)、及時、優(yōu)質的服務。我們可提供服務的行業(yè)包括高純分析測試實驗室、半導體、太陽能光伏、生物、制藥、食品、乳品、酒廠、煙草、航空航天、壓力容器、核電、造船等等。  我公司提供高溫真空管式爐、高溫氣氛式爐、馬弗爐；掃描電鏡；磁控濺射鍍膜；超音速噴涂設備、等離子噴涂設備；真空擴散；納微涂層；3D打印設備；焊燃料電池；X射線能譜儀等大型儀器的集中供氣配氣系統(tǒng)，至目前已為各科研機構配套多個項目，經(jīng)驗豐富。  我司經(jīng)銷的產(chǎn)品有：鋼瓶固定架、不銹鋼減壓器、黃銅減壓器、不銹鋼氣體匯流排、黃銅匯流排、不銹鋼自動切換面板裝置、不銹鋼背壓閥、BA級不銹鋼管內外拋光管、EP級不銹鋼內外拋光管、不銹鋼卡套式三通、不銹鋼卡套直通接頭、焊接三通、焊接變徑、氣體質量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風柜、實驗臺等。

 技術指標

4.1 S48 300/HMT MFC技術指標

表1 S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術指標

編號	項目	S48 300/HMT
1	流量規(guī)格	（10,20,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10,20,30,50）L/min
2	調節(jié)閥類型	電磁調節(jié)閥
3	調節(jié)閥靜止狀態(tài)	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	2%-100%F.S.
6	流量測量范圍	0-100%F.S.
7	響應時間	≤ 1 sec
8	工作環(huán)境溫度	5-50℃
9	精度保證溫度	15-35℃
10	精度	±1.0% S.P.（≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.）
11	線性精度	±0.5%F.S.
12	重復性	±0.2%F.S.
13	工作壓差	-5L/min （50-300）kPa（D）                         10L/min-30L/min （100-300）kPa（D）                50L/min （150-300）kPa（D）
14	耐壓	3MPa（G）
15	泄漏率	＜1×10-8Pa·m3/s（He）
16	接觸氣體材料	316L，Viton® 氟橡膠，PTFE
17	管路接頭	Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
18	供電電源	±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA
19	設定信號	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ
20	流量輸出信號	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負載能力≤3mA
21	通訊接口	數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xié)議從機，設備號可選范圍0-15
22	重量（kg）	0.9

S48 300/HMT質量流量控制器的特點

　　　☆ S48 300/HMT型質量流量控制器是在引進HORIBA STEC技術基礎上，結合國內需要而研制的一種數(shù)字式質量流量控制器產(chǎn)品，采用當今先進的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小等特點。

　　　☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放協(xié)議。協(xié)議簡單可靠，兼容性強，易于組網(wǎng)。配合上位機，可進行各種復雜的計量、控制操作及組態(tài)。

　　　☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。 

　　　☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。

　　　☆可任意角度安裝。

　　　☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動控制系統(tǒng)配合。

配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對氣流的瞬時流量進行精確測量和計量。

 

應用范圍：分析儀器/表面涂裝處理/半導體制造熱處理/雷射焊接/燃燒室噴嘴/燃料電池/發(fā)酵槽/機械生產(chǎn)制造/氣體生產(chǎn)設備/氣壓縮設備/實驗室設備

 

一、ALICAT氣體質量流量控制器測量原理圖 二、ALICAT氣體質量流量控制器產(chǎn)品特點

1、50毫內完成穩(wěn)定的控制響應

準確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應速度，艾里卡特®質量流量控制器50毫內即可到達新的設定值。快速、可重復、穩(wěn)定！

2、操作便捷

?     50-100毫控制響應

?     允許用戶自行調節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性

?     定制化閥門孔徑以滿量程流量的穩(wěn)定性

?     同一臺設備控制質量流量、體積流量或絕對壓力

?     瞬間啟動、無需預熱：1內即可開始流量控制

三、ALICAT氣體質量流量控制器產(chǎn)品系列

MC 標準系列

全球控制響應快、穩(wěn)定的流量控制器。

MCR 大流量系列

準確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為全球無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

限度減小壓損對系統(tǒng)的影響，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。 點擊這里了解更多關于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導體行業(yè)用系列

可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門設計更是符合半導體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ，門用于真空應用。可定制相應的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 點擊這里了解更多關于半導體行業(yè)用系列

MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

雙向質量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防蝕型MCDS系列。  點擊這里了解更多關于雙向質量流量&壓力控制器系列

四、ALICAT氣體質量流量控制器性能參數(shù)

指標	質量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復性	±0.2%
量程比	200:1
響應時間	100ms
標準狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-100%
測量流量范圍	128％（過流率）
大耐壓	145psi
輸出信號（數(shù)字）	質量流量、體積流量、絕對壓力和溫度
數(shù)字信號可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號（模擬）	質量流量、體積流量、絕對壓力和溫度
模擬信號可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A）

產(chǎn)品規(guī)格	MC	測量單位
量程范圍	0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500，800	(S)CCM
	1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500	(S)LPM
精度等級	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（高精度選項±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）	滿量程
重復性	±0.5%	滿量程
量程比	100：1
響應時間	100	毫秒
壓降	-	與廠家商議
操作溫度	-10～50	℃
零點漂移	0.02%/ATM	滿量程/℃
范圍漂移	0.02%/ATM	滿量程/℃
濕度量程	0-100%	無冷凝
過流率	2.4%	滿量程
最大耐壓	125	PSIG
供應電流	當流量≤20LPM時： 0.25 當流量≥50LPM時： 1	安培
電源電壓	當流量≤20LPM時：12-25VDC 當流量≥50LPM時：24-30VDC
輸入/輸出	0-5VDC，0-10VDC，4-20mA,RS-232	VDC
電氣連接	8針或可選的工業(yè)連接插頭	小型圓插頭 DIN
機械連接	1/8"接口：流量≤20(S)LPM 閥門側1/2"接口，流量計側1/4"接口：當流量為50(S)LPM和100(S)LPM時 1/2"接口：當流量為250～1000(S)LPM 1"接口：當流量＞1000(S)LPM	NPTF
接液部件	303和302不銹鋼，Viton®，RTV硅樹脂，玻璃纖維增強尼龍，陽極氧化鋁，410&304不銹鋼，鎳，銅，Delrin®，Loctite®粘劑326，401，609

流量范圍	高度	長度	深度	流量計接口	閥門接口
≤20（S）LPM	4.08"	3.5"	1.56"	1/8" NPT(F)	1/8" NPT(F)
20～50（S）LPM	4.600"	～5.7"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
50～100（S）LPM	4.727"	～6.6"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
100～1000（S）LPM	5.242"	～6.6"	2.0"	1/2" NPT(F)	1/2" NPT(F)