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EL-FLOW® 實驗室型氣體質量流量控制器

EL-FLOW®系列質量流量控制器是一款高科技代表的產品，能測量控制流量范圍：0..1 mln/min 到 0..1250 ln/min，最大操作壓力達到400 bar。

Bronkhorst Hi-Tec EL-FLOW®系列儀表性能表現：

精度
穩定性
實用性
品質

技術應用：

模塊化結構
電化學拋光
SMT表面貼裝工藝
噪聲信號抑制
自動溫度補償
內部電壓調整

控制閥被設計成模塊化結構，可以方便地更換，Kv值為1.5。獲得專利保護的獨特結構設計，能適應大流量及高差壓的控制，這是的產品。

應用

實驗室的實驗裝置
在食品、化學和石化工業中的過程控制
發酵和生物化學
質量控制和泄露偵測系統
氣體混合控制和環境控制
燃燒控制
半導體制造
表面處理裝置

流量范圍表(空氣)

F-200C	min. 0,02 ... 1 mln/min
	max. 0,2 ... 10 mln/min
F-201C	min. 0,2 ... 10 mln/min
	max. 0,3 ... 15 ln/min
F-201AC	min. 0,2 ... 10 ln/min
	max. 1,4 ... 70 ln/min
F-202AC	min. 0,5 ... 25 ln/min
	max. 5 ... 250 ln/min
F-203AC	min. 2 ... 100 ln/min
	max. 25 ... 1250 ln/min
F-232M	min. 0,2 ... 10 mln/min
	max. 2 ... 100 ln/min

質量流量控制器GFC

一、概述：

GFC系列用于測量和控制氣體質量流量。本品外殼堅固耐用，精確度高，是一款多功能而且經濟實用的流量控制產品。

可選鋁或不繡鋼外殼，可選顯示工程單位（標準）或百分比。自帶的電磁比例閥可以控制設定的流量，該閥是常閉閥，當意外停電時，閥門將自動關閉。設定點可以本地控制或外部給定控制。

自帶置于傳感器頂部的LCD顯示模塊，這個顯示模塊可傾斜90度以上以方便讀數。它用一個標準的插頭與傳感器連接，也可以分開獨立安裝。OEM的應用可提供無 LCD顯示的產品。

二、操作原理：

被測氣體分別流經兩個層流區，一路通過主流量管道，另一路通過毛細測量管。

兩個管路的設計保證流體處于層流狀態，因此兩個管路流量比是恒定的。

兩個精密的溫度感應繞組在測量管上被加熱，當有流量產生時，被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應繞組上。產生溫差和感應圈電阻的變化是成比例的。

測量繞組的電阻值與瞬時流量成線性比例關系，采用惠斯頓電橋來檢測測量繞組的電阻變化。

根據被測氣體的質量流量，輸出0-5VDC或者4-20mA信號。

經過兩個層流區的氣體混合后流過具體特定孔徑的電磁比例閥，質量流量測量與電磁比例閥組成閉環的控制系統，使流量穩定在設定的流量值上。

在一定范圍內溫度和壓力的變化不會影響流速。

三、技術參數：

產品名稱：質量流量控制器GFC 精度：精度%FS

型號 GFC17,37，47 GFC57,67,77

流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%

精度 ±1% ±1.5% ±3%

可選精度%FS

型號 GFC17 GFC37，47,57,67,77

流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%

精度 ±1% ±1% REF DATA with ±1%

校準：標況【14.7psia（101.4kpa），70℉（21.1℃）】

重復性：±0.25%滿里程、

響應時間：在滿里程的25-100%范圍內，2秒內達到2%精度

溫度系數：0.05%滿里程/℃

壓力系數：0.01%滿里程/psi（0.07bar）

推薦氣體壓力：25psig（1.73bars）

最大氣體壓力：GFC17,37,47最大1000psi（70bars）.GFC57,67，77最大500psig（34.5bars）

量程比：40:1

最大壓差：GFC17/37/57/67/77 50psi（3.4bars），GFC47 40psi（2.7bars）

氣體和周圍溫度：32℉-122℉（0℃-50℃），14℉-122℉（-10℃-50℃），干燥氣體

方位靈敏度：水平到垂直旋轉低于15度；標準校準是在水平位置

輸出信號：線性0-5Vdc（3000ohms最小負載阻抗）；線性4-20mA（500ohms最大回路電阻）最大噪聲±20mV

控制信號：遠程設定模式：模擬0-5Vdc或4-20mA；NPN兼容清洗/關閥

連接：GFC17and37：1/4＂卡套連接

可選6mm，1/4VCR，3/8或1/8卡套

GFC47：3/8＂卡套

GFC57：3/8＂卡套

GFC67：1/2＂卡套

GFC77：3/4＂FNPT.可選：3/4＂卡套

泄漏率：氦氣泄漏率1*109sml/s

輸入電源：+12Vdc，800mA；可選+24Vdc，650mA

回路保護：電路板內置極性保護，自動恢復電阻保護電源過載輸入

顯示：3-1/2數字LCD，0.5＂英寸高字符

CE認證：EN55011class1,classB;EN50082-1

該公司產品分類：配氣系統壓力開關壓力開關流量控制器蠕動泵泵步進電動閥流量調節閥流量調節閥氣體流量計流量計質量流量控制器轉子流量計/浮子流量計質量流量計流量控制器流量計

氣體質量流量控制器

產品特點：1. 滿量程從0.5ccm到1500lpm2. 響應時間10ms3. 量程比優于100：14. 精度±0.8％讀數±0.2％滿量程（可選±0.4％讀數±0.2％滿量程）5. 本地顯示、rs-232或模擬信號輸出質量流量、體積流量、溫度和絕壓6. 自動復位或在顯示屏上按鍵復位7. 安裝位置不敏感8. 現場可選30種校驗氣體差壓原理與熱式原理對照表

產品簡介：

alicat氣體質量流量計利用兩個已研究透徹的氣體物理屬性：壓力和粘性來測量流量。通過層狀流量單元的差壓測量來計算流量，這種測量方式具有固有的線性。采用差壓、絕壓和溫度傳感器來測量并補償氣體的壓力、溫度，測量標準狀態（如1個大氣壓@25℃）下氣體的體積流量。可測量4種參數：質量流量、體積流量、溫度和絕壓，可選累計流量，并且可以通過動態顯示屏同時顯示。可選電池使得該款產品方便攜帶，常用于測試和校準工具。另外提供用戶定制滿足您特殊需求。 alicat氣體體積流量計采用差壓傳感器來測量當前狀態下的體積流量。由于它沒有內置絕壓和溫度傳感器，價格會便宜一些，是相對于質量流量計的另一種選擇。本地顯示： alicat所有產品均提供本地顯示標準功能（無顯示產品可以用于oem）。質量流量控制器和體積流量控制器在主顯示上均提供了不同的過程參數信息，用戶通過按鍵可以選擇主顯示方式（main mode display）和所測的氣體(30種校驗氣體)，調節pid參數，將測量流量清零等。

數字輸出（rs-232）：所有的alicat產品均具有標準的rs-232輸出。其信號通過8針圓形接頭或6針工業連接頭傳輸。使用alicat的rs-232輸出或輸入通訊串口無需特別軟件。任何帶有終端程序的設備，例如windows®操作系統里的“超級終端”，均可以使用我們的alicat產品。rs-232可以實現本地顯示上的所有操作功能，例如：清零、更換校驗氣體、改變pid等。對于質量流量控制器，通過rs-232所顯示的過程參數同其本地顯示上數據是一致的。控制功能也與每個型號的本地顯示控制模式一致（如右圖所示）。體積流量控制器的控制功能 (loop)只定位在“體積流量(volume)”上。所有的產品均可以根據用戶的選擇配置為流動模式或輪循模式。模擬輸出：模擬信號通訊同樣是由rs-232接口的8針圓形接頭來提供。默認的模擬信號是0-5vdc，可選0-10vdc或4-20ma的輸出信號。alicat質量流量控制器提供0-5vdc輸出“質量流量”，同時提供一個模擬控制設定點的針腳。質量流量控制器通過“se-lect”（出現在本地控制設定模式中，如右上圖所示）來控制設定點方式。可選第二路單獨模擬輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。alicat體積流量控制器提供0-5vdc輸出“體積流量”，同時提供一個模擬控制設定點的針腳。體積流量控制器通過“se-lect”（出現在本地控制設定模式中，參考右上圖）來控制設定點方式。應用領域: 醫藥、工業、過程控制、實驗室、oem、替換熱式質量流量計、泄漏測試選項附件：1. 電氣電纜 2. ac/dc 電源適配器 3. 特殊混合氣體 4. 遠程數字顯示（rdd） 5. 用戶化壓降設置 6. 電池包（使測試儀器便攜） 7. 多種獨立的輸出

DFC美國Aalborg數字式質量流量控制器

設計特點－數字式和模式方式同時提供－可編程序的控制流量－流量控制范圍從0 開始到10 sccm 直到0到100 slpm－最大壓力500 psig (34.5 Bar)－多點控制可到256 個單位(為RS-485 選擇)－存放定標數據為10 不同氣體－可編程序的12 個數字計算器表明總氣體容量－數字式(RS-232 或RS-485) 并且同時提供模擬輸出－內部轉換最多32種氣體－自動零調整－自診斷測試

主要技術參數精度：1％FS

重復性: ±0.15% 全量程；

響應時間: 0.6 to 1.0 秒

溫度系數: 0.05% /FC or better.

壓力系數: 0.01% 全量程/ 0.07 bar (1 psi) 或更好；

可選氣壓:1.73 bars (25 psig).

最大氣壓: 70 bars (1000 psia).

最大瞬間壓力: 13.6 bars (200 psia).

氣體和環境溫度: 5C to 50C (41F to 122F).

信號輸出: Linear 0-5 Vdc (3000 歐姆低阻抗負載);0-10Vdc (6000 歐姆低阻抗); 4-20 mA 供選 (500 歐姆高環阻).最大噪音 20mV 峰對峰.

輸入電源: 最大15Vdc, 450 mA;

材質：316不銹鋼，416不銹鋼, Viton7 O形圈；Neoprene7或 Kalrez7 O形圈可供選擇.

5400質量流量控制器金屬密封低泄漏

5400系列金屬密封型質量流量計控制器

經濟型，適用于半導體等行業，5400是質量控制器，5410是質量流量計流量范圍：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM控制閥：常閉，電磁隔膜閥反應時間：到達設定值±2%范圍內≤1秒精度：±1%以內線性：±0.5%以內重復性：±0.2%以內使用壓差：范圍≤5SLM時，49～294KPA，5SLM <范圍≤20SLM時，147～294KPA壓力限制：980KPA泄露率：1 × 10–11 Pa?m3/second 或更小操作溫度：0～50°C接觸介質的材質：本體: SUS316L 隔膜：Ni-CO閥座:PTFE密封材料:Ni,SUS316L連接：1/4VCR電氣連接：9針插座控制信號：0-5VDC輸出信號：0-5VDC電源：5400：+15 VDC （±5%） 100 mA ， –15 VDC （±5%） 200 mA　　　5410：+15 VDC （±5%） 100 mA ， –15 VDC （±5%） 100 mA

02133194893,liuliejun123@sina.cn 詳情來電劉工 ,15711669815

該公司產品分類：電磁比例閥質量流量計氣體質量流量計

LF400-S氣體質量流量計質量流量控制器

功能		流量計/控制器
基本型號		LF400-S
滿量程流量范圍(N2)	SCCM	0～5，10，20，30，50，100，200，500
	SLM	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S)		±1(≤15SLM)
		±1.5(＞15SLM.)
控制閥動作型式		常閉式
線性(％F.S.)		±0.5～1(≤15SLM)
		±1.5％(＞15SLM.)
重復精度(％F.S.)		±0.2
響應時間(sec)		≤1
流量輸出信號		0-+5.00V
流量設定信號		0-+5.00V
電器接頭		DB15 pin(接頭)
工作環境溫度	(℃)	5～45
工作壓差	(MPa)	0.1～0.5
漏率	SCCSHe	1×10-9
最大耐壓		3MPa
介質接觸材質		304，316，316L
密封材料		氟橡膠，硅橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯
接頭		VCR " 1/4、1/2
		Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接頭和尺寸		Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm
電源要求		+15V,50mA;-15V,200mA
重量		1.0KG

該公司產品分類：氣體混合設備顯示儀流量計

型號:M297247 盤裝質量流量控制器

盤裝質量流量控制器型號:M297247
盤裝質量流量控制器MPC系列是本公司獨自開發的超高速響應流速傳感器。集MicroFlow傳感器、超小型比例電磁閥、新方式的流路和高度的執行器技術于一體，可安裝在儀表盤上的質量流量控制器	產品圖片

微小氣體質量流量控制器，廠家直銷高精度高穩定性快速響應價格優，歡迎新老客戶來電咨詢！

LF400系列采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制。

　　可應用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。

　　產品系列完整，可選擇數字式，模擬式，普通，高精度，高壓力型，性能且價格具有競爭力，應用領域廣泛。

　　o模擬式熱質式流量計/流量控制器：

　　低單價

　　環境溫度補正

　　可應用的流率范圍廣：

　　0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM

　　0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM

　　高精度

　　±1%(≤15SLM)

　　±1.5%(＞15SLM.)

　　可選用LF系列控制模塊，具有數位顯示、電源供應、流量設定等功能

　　國際兼容

　　氣體質量流量用氮氣(N2)標定。

　　標準狀態規定為：

　　標準溫度………………0℃（273.15K）

　　標準壓強………………101325Pa

功能		流量計/控制器
基本型號		LF400-S
滿量程流量范圍(N2)	SCCM	0～5，10，20，30，50，100，200，500
	SLM	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S)		±1(≤15SLM)
		±1.5(＞15SLM.)
控制閥動作型式		常閉式
線性(％F.S.)		±0.5～1(≤15SLM)
		±1.5％(＞15SLM.)
重復精度(％F.S.)		±0.2
響應時間(sec)		≤1
流量輸出信號		0-+5.00V
流量設定信號		0-+5.00V
電器接頭		DB15 pin(接頭)
工作環境溫度	(℃)	5～45
工作壓差	(MPa)	0.1～0.5
漏率	SCCSHe	1×10-9
最大耐壓		3MPa
介質接觸材質		304，316，316L
密封材料		氟橡膠，硅橡膠，丁氰橡膠，聚四氟乙烯
接頭		VCR " 1/4、1/2
		Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接頭和尺寸		Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm
電源要求		+15V,50mA;-15V,200mA
重量		1.0KG

該公司產品分類：氣路配件混氣系統質量流量控制器

M3030V小流量氣體質量流量控制器M3030V

Normal 0 7.8 磅 0 2 MicrosoftInternetExplorer4

小流量氣體質量流量控制器M3030V

氣體質量流量控制器M3030V，采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量，無需溫度壓力補償。氣體質量流量控制器M3030V是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體流量的穩流裝置，能在較寬的量程范圍內快速而精確地控制氣體流量。即使系統壓力有波動或環境溫度有輕微的變化，也不會影響其正常的工作。

小流量氣體質量流量控制器M3030V產品亮點：

-類型：MFC氣體質量流量控制器

-控制范圍：10sccm ～ 30slpm （sccm:標準毫升/分 slpm:標準升/分）

-準度等級: ±1% F.S

-耐壓：≤90bar

-標準接口：0-5VDC，4-20mA可選

-響應時間：≤2sec

-使用范圍：2~100% for max range

-供電電源：+15~+28Vdc, 350Ma

-漏率：1×10-9atm·cc/sec

-氣路連接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR

-適用介質：所有氣體（含腐蝕性氣體和有毒氣體）

-無需溫度、壓力補償

小流量氣體質量流量控制器M3030V

產品型號	M3030V	M3030A
流量范圍（N2）	10sccm ～ 30slpm	10sccm ～ 30slpm
響應時間	≤2秒	≤2秒
準確度	≤±1% 滿量程	≤±1% 滿量程
重復精度	≤±0.25% 滿量程	≤±0.25% 滿量程
輸出輸入信號	0~5Vdc	0~5Vdc或4~20毫安
供電	+15~+28Vdc，350毫安	+15~+28Vdc，350毫安
耐壓	≤90 bar	≤90 bar
工作環境溫度	0~50 °C	0~50 °C

應用領域：－分析儀器－干刻（RIE/DRIE）－燃料電池－生物技術－氣相色譜分析－等離子刻蝕－激光焊機－混氣配氣系統－微反應裝置－真空鍍膜－過程自動化－石化工業

該公司產品分類： PM2.5傳感器空氣質量傳感器氫氣泄漏檢測傳感器HLS-440 VOC空氣質量傳感器 iAQ-engine

MPC面板安裝型質量流量控制器

MPC 面板安裝型質量流量控制器 MPC總體優點：結構簡潔、操作簡便、容易控制功能豐富、安裝方便、容易替換（參考共享文件中的圖片）

MPC使用特點：1. 通過超輕巧比例閥門的設定實現全自動流量控制.2. 通過微流量傳感器，消除了溫度影響和壓力波動的影響。☆ 如果是清潔測量計，需要壓力和溫度的互相轉換，并且由于設計規格和應用條件的不同會產生測量誤差。(由于通向大氣的次壓力或后壓力，該誤差較大。)3. 甚至對于習慣使用清潔測量計的用戶在使用MPC時也不存在不兼容現象。?實現小尺寸、輕質量、易操作、低價位！！MPC的有關參數1. 流量范圍: 0 ～ 500ccm, 0 ～ 2, 0 ～ 5, 0 ～ 20LM2. 氣體類型: 空氣/氮氣, 氬氣, 二氧化碳 (CO2) 由于材質原因不能使用氧氣。由于安全回路的原因不能使用燃氣和氫氣。→ 關注的重點是其物理限制和與CMQ不同的應用范圍。3. 控制范圍: 5 ～ 100%FS4. 控制精度: 2%FS5. 操作壓差范圍: 50 ～ 300kPa6. 耐壓: 500kPa7. 氣體接觸材質: 黃銅8. 管子連接材質: Rc1/89. 電源: 24Vdc10. 流速設定方式: 標準 = 鍵操作選項-1 = 電壓 (1 ～ 5Vdc) 輸入/輸出選項-2 = CPL 通訊 MPC的功能 1. 多點設定 : 可以設定4個SP值并且通過切換輸入來改變2. 氣體類型切換 : 標準氣體可選 3. 氣體類型設定 : 可以設定一個轉換系數 4. 閥門強制開 / 關5. 緩慢啟動和緩慢控制 : 可以在 1 ~ 6 秒內選擇控制速度6. 流量積分和積分脈沖輸出7. 閥門驅動輸出狀態監測8. “OK” 燈顯示并且切換輸出9. 事件燈顯示并且切換輸出10. 報顯示并且切換輸出 11. 閥門自動關閉 (可選) - 當累積流量值達到設定值時 - 當出現一些報警時

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