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WGL光電輪廓儀

 

WGL光電輪廓儀價格:98000元。
WGL光電輪廓儀介紹
1         WGL光電輪廓儀2007BCEIA金獎,2007年度優秀產品獎,2006-2007年度科學儀器優秀新產品獎。專利號:ZL200610148202.6
2         WGL光電輪廓儀采用非接觸、光學相移干涉測量方法,測量時不損傷工件表面,能快速測得各種工件表面微觀形貌的立體圖形,并分析計算出測量結果。
3         WGL光電輪廓儀適用于測量各種量塊、光學零件表面的粗糙度,標尺、度盤的刻線深度,光柵的槽形結構鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌,磁盤、磁頭表面結構測量,硅片表面粗糙度及其上圖形結構測量等等。
4         WGL光電輪廓儀測量精度高,重復性好,具有非接觸和三維測量等特點,并采用計算機控制和快速分析、計算測量結果
5         WGL光電輪廓儀適用于各級測試、計量研究單位,工礦企業計量室,精密加工車間和高等院校及科學研究單位等。
WGL光電輪廓儀主要特點
6         儀器由倒置式改為正置式,更符合人們的操作習慣;
7         應用CMOS代替CCD,省去圖象卡并提高了質量;
8         用低壓電源代替高壓電源,節省了儀器成本;
9         用國產的代替德國進口壓電陶瓷,解決了關鍵部件的進口難題;
10      增加了自動步距和亮度校正程序,同時增加了局部放大三維立體圖功能。
WGL光電輪廓儀技術參數
·         表面微觀不平深度測量范圍:在連續表面上,相鄰二象素之間沒有大于1/4波長的高度突變時:1000nm1nm;相鄰二象素之間含有大于1/4波長的高度突變時:130nm1nm
·         測量的重復性:δRa0.5nm
·         物鏡倍率:40×;數值孔徑:0.65;工作距離:0.5mm
·         儀器視場:目視Φ0.25mm,攝象0.13×0.13mm
·         儀器放大倍數:目視500×,攝象(計算機屏幕觀察)~2500×
·         接收器測量列陣:1000×1000,象素尺寸:5.2×5.2μm
·         測量時間/采樣掃描時間:1s
·         儀器標準鏡:反射率()~50%反射率()~4%
·         照明光源:白熾燈6V 5W
·         綠色干涉濾光片波長:λ=530nm,半寬度λ=10nm
·         主顯微鏡升程:110mm
·         工作臺升程:5mm
·         XY方向移動范圍:10mm
·         工作臺旋轉運動范圍:360°
·         工作臺傾斜范圍:±6°
·         操作系統:WGL專用軟件,Windows XP2000系統;
·         電源:220V±22V50Hz±1Hz
·         外形尺寸:主機300mm×300mm×500mm,電源180mm×280mm×200mm
·         儀器凈重:28kg
產品相關關鍵字: 輪廓儀 WGL 光電輪廓儀
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