越光學極限的高倍率
■ 最高倍率達100,000X■ SE(二次電子)探測器(可選BSE探測器)
■ 加速電壓5kV~30kV范圍可調(diào)
■ 多種真空模超式-標準/荷電減輕
■ 等待時間少于2分鐘
■ 5軸控制載物臺-X、Y、R、Z、T
■ 4孔可變光闌-30/50/100/200 um
■ 選配-EDX系統(tǒng) 冷凍載臺 低真空控制系統(tǒng)
非導電性樣品無須涂層、快速簡便
■ 任何人都能使用的自動調(diào)整功能■ 交替樣品后兩分鐘即可獲得滿意的影像■ 體積小巧,靈活快捷■ 最便利化的GUI界面
影像鮮明的掃描電鏡
■ 高分辨率最高可達5百萬像素■ 極大的景深層次豐富■ 多種格式儲存■ 多種測定功能:長度、角度等
儀器簡介
SU8200 系列冷場掃描是日立高新經(jīng)過多年潛心鉆研,巨額投入而研發(fā)出來的新一代革新性冷場電鏡,此系列掃描電鏡在完全秉承以往冷場發(fā)射掃描電鏡全部優(yōu)點的同時,將探針電流進行了大幅提高,電流穩(wěn)定性得到了極大增強,同時避免了燈絲Flash 后的采圖等待時間,可以說其彌補了以往冷場電鏡的所有弱勢,成為一款真正的超高分辨分析型冷場掃描電鏡,上演了一部現(xiàn)實版的王者歸來!
主要特點:
日立高新新研發(fā)的冷場電子槍
1.利用電子槍轟擊后的高亮度穩(wěn)定期,束流更大更穩(wěn)定,高分辨觀察和分析兼顧
2.大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)
3.減輕污染的高真空樣品倉
4.通過頂部過濾器(選配項)實現(xiàn)多種材料對比度可視化聯(lián)系人鐘先生 1564055 / QQ:
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S-3400N掃描電子顯微鏡
S-3400N具有最新開發(fā)的電子光學系統(tǒng),強大的自動化功能,操作更簡易。
特點:
1. S-3400N具有強大的自動功能,包括自動燈絲飽和、4偏壓、自動槍對中、自動束流設定、自動合軸自動聚焦和消像散、自動亮度對比度等。
2. 在3kV低加速電壓時保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達臺,傾斜角度可達-20度~+90度,樣品最高可達80mm。
5. 分析樣品倉可以同時安裝EDX , WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵,潔凈、高效。
技術指標:
項目 | 描述 |
SE分辨率 | 3.0nm (30kV),高真空模式 10nm (3kV), 高真空模式 |
BSE分辨率 | 4.0nm (30kV),低真空模式 |
放大倍率 | x5 ~ x300,000 |
加速電壓 | 0.3 ~ 30 kV |
低真空范圍 | 6 ~ 270 Pa |
最大樣品尺寸 | 直徑200mm |
樣品臺 | I型 II型 |
X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
R | 360º 360º |
T | -20º~ +90º -20º ~ +90º |
最大樣品高度 | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
驅(qū)動類型 | 手動 五軸馬達驅(qū)動 |
燈絲 | 預對中鎢燈絲 |
物鏡光欄 | 可移動式4孔物鏡光欄 |
槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏 |
檢測器 | 二次電子檢測器 高靈敏度半導體背散射電子檢測器 |
分析位置 | WD=10mm, TOA=35o |
控制 | 鼠標、鍵盤,手動旋鈕 |
自動調(diào)校 | 自動燈絲飽和、自動4偏壓、自動槍對中、自動束流設定、自動合軸、自動聚焦 消像散、自動亮度對比度 |
日本電子,電鏡,掃描電鏡 大樣品室和馬達驅(qū)動樣品臺 艾先生 --5334 0755--3150 Q -6154
樣品室對應樣品的直徑可達到200mm,5軸馬達驅(qū)動確保了率的樣品移動和觀察。
操作窗口
直觀的操作界面的設計,簡明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用戶
單個用戶可以根據(jù)常用功能設置相應的圖標,營造率的操作環(huán)境。用戶登錄時,即可加載已注冊過的設定。
同時顯示兩幅圖像
畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像。可同時觀察樣品的形貌和組成分布。
微細結(jié)構(gòu)測量
適合于多種測量功能。可在觀察圖像上直接進行測量。也可將測量結(jié)果貼至SEM圖像,保存在文件中。
標準的全對中樣品臺,能收錄三維照片
3D Sight(選配件),能夠進行平面測量和高度測量,實現(xiàn)立體俯視圖。
從圖像觀察到元素分析,配合連貫一條龍
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監(jiān)視器,一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析(EDS)。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監(jiān)視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。
維護簡便
工廠預置中心燈絲,十分便于更換。因此,可保持穩(wěn)定的高性能。此外,操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。
可信賴的真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)使用高性能的擴散泵了潔凈的高真空狀態(tài)。擴散泵內(nèi)部無活動部件,體現(xiàn)了操作穩(wěn)定,維護簡便的特色。
KYKY-2800系列 | |||||||||
實用型掃描電子顯微鏡 | |||||||||
項目 | KYKY-2800B | KYKY-2800BZ | KYKY-2800A | KYKY-2800AZ | |||||
分辨率 | 4.5nm(30KV) | ||||||||
放大倍數(shù) | 15x~250,000x | ||||||||
電子槍類型 | 發(fā)叉式鎢絲陰極 | ||||||||
加速電壓 | 0~30KV | ||||||||
透鏡系統(tǒng) | 三級電磁透鏡 | ||||||||
物鏡光闌 | 三個光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié) | ||||||||
樣品臺 | 手動 | X/Y軸自動 | 手動 | X/Y軸自動 | |||||
行程 | X | 0~50mm(大樣品臺0~80mm) | |||||||
Y | 0~50mm | ||||||||
Z | 0~25mm(大樣品臺0~30mm) | ||||||||
R | 360º | ||||||||
T | ‘-5º ~90º (大樣品0º~90º) | ||||||||
探測器 | 二次電子探測器,背散射電子探測器(可選),X-ray能譜儀(可選) | ||||||||
真空系統(tǒng) | 擴散泵 | 擴散泵 | 分子泵 | 分子泵 |
KYKY-2800 Series | |||||||||
Practical Type SEM | |||||||||
Model | KYKY-2800B | KYKY-2800BZ | KYKY-2800A | KYKY-2800AZ | |||||
Resolution | 4.5nm(30KV) | ||||||||
Magnification | 15x~250,000x | ||||||||
Electron gun | Hair fork tungsten cathode | ||||||||
accel voltage | 0~30KV | ||||||||
Lens System | Level 3 electromagnetic lens | ||||||||
Lens Isis | three diaphragm can be adjusted without vacuum | ||||||||
Stage
| Manual | X/Y axis Automatic | Manual | X/Yaxis Automatic | |||||
Move Range | X | 0~50mm(large stage 0~80mm) | |||||||
Y | 0~50mm | ||||||||
Z | 0~25mm(large stage 0~30mm) | ||||||||
R | 360º | ||||||||
T | ‘-5º ~90º (large stage 0º~90º) | ||||||||
Detector | secondary electron detector ,backscattered electron detector (optional),X-ray Energy Disperse Spectroscopy (optional) | ||||||||
Vacuum system | diffusion pump | diffusion pump | molecular pump | molecular pump |
掃描電子顯微鏡(SEM)圖像系統(tǒng)改造 硬件:
1.原裝美國國家儀器公司圖像采集板,支持PCI總線標準(2.2版),其總線數(shù)據(jù)度可 達32位,頻率為33MHz,傳輸速率132Mb/S;支持的數(shù)據(jù)管理結(jié)構(gòu),包括兩路 DMA引擎,可編程的目標和源數(shù)據(jù)傳輸模式 ,以及PCI消息功能,即插即用。
2.SEM圖像接口及電纜
掃描電子顯微鏡(SEM)圖像系統(tǒng)改造 功能:
1.主動式數(shù)字掃描系統(tǒng),可實時調(diào)整掃描速度,亮度和對比度等。
2.可選擇全屏掃描和區(qū)域掃描。
3.采集速度:4~120μS多種點逗留方式。
4.采集圖像分辨率:64648bit、1281288bit、2562568bit、 5125128bit、 102410248bit
圖像處理及分析軟件:
1.圖像顯示方式:標準窗口匹配,圖像縮放,處理區(qū)域選擇,同屏顯示原始圖像及處 理后的結(jié)果。
2.圖像標記:放大倍數(shù)、加速電壓輸入,彩色中西文字編輯,測量μ標尺顯示。
3.圖像增強:a.亮度、對比度調(diào)節(jié)。b.圖像平滑。c.圖像銳化。d.邊緣提取。
4.域值分割:a.二值分割:建立二值圖像。b.彩色分割:將圖像不同的灰度區(qū)域設置 成不同的顏色,以偽彩色的方式顯示出來。
5.形態(tài)學變換:a.二值圖像處理及編輯:灰度形態(tài)學變換,包括:腐蝕、膨脹、開運 算、閉運算。b.圖像細化。
6.灰度圖像的偽彩色變換:將灰度圖像設置成某種顏色顯示和存儲。
7.灰度值方圖顯示
8.粒度分析:對圖像中的顆粒進行重心、面積、周長、圓形度、長軸、短軸計算和部 分參數(shù)直方圖顯示、存儲、打印。
9.圖像存儲和輸出:多種格式圖像存儲,圖像格式轉(zhuǎn)換,圖像打印、拷貝。
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