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DDS228DDS228單相普通家用電表

一、概述

DDS228單相電子式電能表（下稱電能表）采用美國(guó)ADI 公司的單相電能計(jì)量芯片ADE7755和的SMT及波峰焊接工藝，根據(jù)用戶實(shí)際用電狀況所設(shè)計(jì)、制造的新型電能表。本電能表符合GB/T17215.321-2008《1級(jí)和2級(jí)靜止式交流有功電能表》及IEC1036-1996國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的全部技術(shù)要求。具有良好的抗電磁干擾、低自耗節(jié)電、高精度、防竊電、高過(guò)載、長(zhǎng)壽命的特點(diǎn)。

二、規(guī)格和主要技術(shù)參數(shù)

1、型號(hào)規(guī)格

型號(hào)	度等級(jí)	參比電壓 Un	額定電流 Ib	儀表常數(shù) imp/kWh	顯示方式
DDS228	1級(jí) 或2級(jí)	220VAC 50/60Hz	2.5（10）A	6400	LCD顯示或計(jì)度器顯示
			5（20）A	3200
			10（40）A	1600
			20（80）A	800

2、基本誤差限

負(fù)載電流	功率因素COSφ	基本誤差限（%）
負(fù)載電流	功率因素COSφ	1級(jí)	2級(jí)
0.05Ib	1.0	±1.5	±2.5
0.1Ib-Imax	1.0	±1.0	±2.0
0.1Ib	0.5（感性） 0.8（容性）	±1.5	±2.5
0.2Ib-Imax	0.5（感性） 0.8（容性）	±1.0	±2.0

注：Ib標(biāo)定電流，Imax最大電流。

3、起動(dòng)

在參比電壓，參比頻率及COSφ=1.0的條件下，負(fù)載電流為0.004Ib（1級(jí)）電能表應(yīng)能連續(xù)計(jì)量電量。

4、潛動(dòng)

電壓回路加額定電壓的115%，電流線路中無(wú)電流時(shí)，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)儀表的測(cè)試輸出不應(yīng)產(chǎn)生多于一個(gè)的脈沖。

5、電壓范圍

正常工作電壓：0.9Un-1.15Un

極限工作電壓：0.75-1.2Un

6、功耗

電壓線路功耗：≦1W和4VA

電流線路功耗：≦1VA

4.7氣侯條件

正常工作溫度： -35℃～+60℃

極限工作溫度： -40℃～+70℃

存貯和運(yùn)輸溫度：-25℃～+70℃

該公司產(chǎn)品分類：變頻器軟起動(dòng)系列單相三相導(dǎo)軌式電能表三相電子式電能表單相電子式電能表

WDS系列WDS系列-數(shù)顯式電子萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)-雙臂

一、主要用途：

該系列拉力試驗(yàn)機(jī)適用于橡膠、塑料、紡織物、防水材料、電線電纜、網(wǎng)繩、金屬絲、金屬棒、屬板等材料的拉伸試驗(yàn)，增加附具可做壓縮、彎曲試驗(yàn)。具有試驗(yàn)力數(shù)字顯示，試驗(yàn)速度連續(xù)可調(diào),試樣拉斷自動(dòng)停機(jī)，峰值保持等功能。

功能與特點(diǎn)：

1、采用高精度、全數(shù)字調(diào)速系統(tǒng)及精密減速機(jī)，驅(qū)動(dòng)精密絲杠副進(jìn)行試驗(yàn)，實(shí)現(xiàn)試驗(yàn)速度的大范圍調(diào)節(jié)，試驗(yàn)過(guò)程噪音低、運(yùn)行平穩(wěn)。

2、萬(wàn)向節(jié)采用十字插銷結(jié)構(gòu)，而且具有擺角限制功能，一方面便于試樣夾持，保證試驗(yàn)同心度，另一方面很好的消除了不規(guī)則試樣對(duì)傳感器的影響。 3、觸摸鍵操作方式，液晶顯示器實(shí)時(shí)顯示。顯示界面可顯示試驗(yàn)方法選擇界面、試驗(yàn)參數(shù)選擇界面、試驗(yàn)操作及結(jié)果顯示界面和曲線顯示界面，方便快捷。 4、可實(shí)現(xiàn)試樣裝夾時(shí)橫梁快慢升降調(diào)整，具有過(guò)流、過(guò)壓、過(guò)載等保護(hù)裝置。。 5、選配微機(jī)接口，可外接微機(jī)實(shí)現(xiàn)試驗(yàn)過(guò)程的控制及數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、打印。

二、主要技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品系列	數(shù)顯式電子萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī) WDS系列
主要參數(shù)（KN）	0.5/1/2/5 KN	10 /20 KN	50/100 KN
主要參數(shù)（KN）	0.5噸以下	1-2噸	5-10噸
結(jié)構(gòu)形式	單臂	雙臂門式
操作方式	微機(jī)控制
力值測(cè)量范圍	1-100%或0.4-100%	1-100%或0.4-100%	1-100%或0.4-100%
力值精度	±1%（可選0.5%）	±1%（可選0.5%）	±1%（可選0.5%）
位移速度	0.01-500mm/min	0.01-500mm/min	0.01-500mm/min
位移精度	±1%	±1%	±1%
拉伸空間mm	550（可定制）	550（可定制）	550（可定制）
壓縮空間mm	600（可定制）	600（可定制）	600（可定制）
主機(jī)外形尺寸mm	400×400×1500	600×450×150	600×450×170
工作環(huán)境	室溫10℃—35℃范圍內(nèi)，相對(duì)濕度不大于80% 電源電壓波動(dòng)范圍不應(yīng)超過(guò)額定電壓的±10%
夾具形式	根據(jù)客戶要求選配

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該公司產(chǎn)品分類：電子萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī) 壓力試驗(yàn)機(jī) 拉力試驗(yàn)機(jī) 液壓式萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)

DDS-307便攜式電導(dǎo)率儀/實(shí)驗(yàn)室電導(dǎo)率儀DDS307/現(xiàn)貨

該公司產(chǎn)品分類：無(wú)損檢測(cè)設(shè)備

HI98129HI98129多參數(shù)筆式pH/EC/TDS測(cè)定儀

HI98129多參數(shù)筆式pH/EC/TDS測(cè)定儀

概述

HI98129是一款集PH,EC/TDS和溫度測(cè)量為一體的多功能高精度測(cè)試筆！一款儀器即可滿足不同量程多種測(cè)量需求。防水設(shè)計(jì)，大屏易讀數(shù)據(jù)顯示，雙行字幕LCD，自動(dòng)關(guān)機(jī)功能。PH和EC/TDS讀數(shù)為自動(dòng)溫度補(bǔ)償（ATC）。高科技測(cè)試儀配有電極拆卸工具，獨(dú)特的透析膜設(shè)計(jì)可避免鹽和其它物質(zhì)對(duì)電極的污染，延長(zhǎng)儀器的使用壽命。可更換式電極設(shè)計(jì)，即使PH電極損壞，您也無(wú)需將儀器更換掉。EC/TDS轉(zhuǎn)換系數(shù)和溫度補(bǔ)償系數(shù)（?）都可在設(shè)定范圍內(nèi)選擇。快速、、精確、便攜式的測(cè)試筆集PH，EC/TDS和溫度測(cè)量為一體，可以滿足您的測(cè)量需要！

技術(shù)指標(biāo)

微電腦筆試防水型酸度/電導(dǎo)率/總固體溶解度/溫度測(cè)定儀
測(cè)量類別	測(cè)量項(xiàng)目	HI98129	HI98130
測(cè)量范圍	酸度測(cè)量范圍-pH	0.00 to 14.00 pH
	電導(dǎo)率-EC	0 to 3999 µS/cm	0.00 to 20.00 mS/cm
	總固體溶解度-TDS	0 to 2000 ppm （mg/L）	0.00 to 10.00 ppt（g/L）
	溫度?C	0.0 to 60.0 °C、32.0 to 140.0 °F
解析度	酸度測(cè)量范圍-pH	0.01 pH
	電導(dǎo)率-EC	1 µS/cm	0.01 mS/cm
	總固體溶解度-TDS	1 ppm （mg/L）	0.01 ppt（g/L）
	溫度?C	0.1 °C 、0.1 °F
測(cè)量精度	酸度測(cè)量范圍-pH	±0.05 pH
	電導(dǎo)率-EC	±2% F.S
	總固體溶解度-TDS	±2% F.S
	溫度?C	±0.5 °C 、±0.1 °F
溫度補(bǔ)償	酸度測(cè)量范圍-pH	自動(dòng)溫度補(bǔ)償
	電導(dǎo)率總固體溶解度-EC/TDS	補(bǔ)償系數(shù)ß為0.0 to 2.4%/°C
校準(zhǔn)模式	酸度-pH校準(zhǔn)	可選1點(diǎn)或2點(diǎn)校準(zhǔn), 內(nèi)置2組校準(zhǔn)點(diǎn) （4.01、7.01、、10.01 pH和 4.01、6.86、9.18pH）
	電導(dǎo)率-EC	單點(diǎn)自動(dòng)識(shí)別校準(zhǔn) 標(biāo)準(zhǔn)點(diǎn)：1413µS/cm （HI7031L）	單點(diǎn)自動(dòng)識(shí)別校準(zhǔn) 標(biāo)準(zhǔn)點(diǎn)：12.88mS/cm （HI7030L）
	總固體溶解度-TDS	單點(diǎn)自動(dòng)識(shí)別校準(zhǔn) 標(biāo)準(zhǔn)點(diǎn)：1382ppm（HI7032L）	單點(diǎn)自動(dòng)識(shí)別校準(zhǔn) 標(biāo)準(zhǔn)點(diǎn)：6.44ppt（HI7038L）
轉(zhuǎn)換模式	TDS轉(zhuǎn)換因子	0.45 to 1.00可調(diào)
電極類型	HI73127專用復(fù)合酸度電極（可更換），EC/TDS為內(nèi)置石墨電極（不可更換）
輸入阻抗	10¹² Ohm
自動(dòng)關(guān)機(jī)	8分鐘不操作，將自動(dòng)關(guān)機(jī)
電源模式	4 x 1.5V AA紐扣電池
使用環(huán)境	0 to 50 °C （32 to 122 °F） Max. RH 100% （無(wú)冷凝）
尺寸重量	主機(jī)：163 x 40x 26 mm；主機(jī)重量：100 g

標(biāo)準(zhǔn)配置

訂貨型號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)配置模式
HI98129	筆試酸度/電導(dǎo)率/總固體溶解度/溫度測(cè)定儀、內(nèi)置HI73127酸度復(fù)合電極、中英文資料
HI98130	筆試酸度/電導(dǎo)率/總固體溶解度/溫度測(cè)定儀、內(nèi)置HI73127酸度復(fù)合電極、中英文資料

選購(gòu)附件

附件類別	選購(gòu)型號(hào)	基本功能描述
酸度電極	HI73127	專用酸度電極，配置于HI98129、HI98130;;應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室和現(xiàn)場(chǎng)常規(guī)溶液測(cè)量
酸度標(biāo)準(zhǔn)緩沖液	HI7004L	標(biāo)準(zhǔn)值：4.01 pH,規(guī)格：500mL; 常規(guī)校準(zhǔn)緩沖液，
	HI7006L	標(biāo)準(zhǔn)值：6.86 pH,規(guī)格：500mL; 常規(guī)校準(zhǔn)緩沖液，
	HI7007L	標(biāo)準(zhǔn)值：7.01 pH,規(guī)格：500mL; 常規(guī)校準(zhǔn)緩沖液，
	HI7009L	標(biāo)準(zhǔn)值：9.18 pH,規(guī)格：500mL; 常規(guī)校準(zhǔn)緩沖液，
	HI7010L	標(biāo)準(zhǔn)值：10.01 pH,規(guī)格：500mL; 常規(guī)校準(zhǔn)緩沖液，
	HI5004L	標(biāo)準(zhǔn)值：4.01 pH,規(guī)格：500mL; 具有測(cè)試證書，實(shí)驗(yàn)室校準(zhǔn)緩沖液，
	HI5068L	標(biāo)準(zhǔn)值：6.86 pH,規(guī)格：500mL; 具有測(cè)試證書，實(shí)驗(yàn)室校準(zhǔn)緩沖液，
	HI5007L	標(biāo)準(zhǔn)值：7.01 pH,規(guī)格：500mL; 具有測(cè)試證書，實(shí)驗(yàn)室校準(zhǔn)緩沖液，
	HI5091L	標(biāo)準(zhǔn)值：9.18 pH,規(guī)格：500mL; 具有測(cè)試證書，實(shí)驗(yàn)室校準(zhǔn)緩沖液，
	HI5010L	標(biāo)準(zhǔn)值：10.01 pH,規(guī)格：500mL; 具有測(cè)試證書，實(shí)驗(yàn)室校準(zhǔn)緩沖液，
電導(dǎo)率標(biāo)準(zhǔn)液	HI7031L	標(biāo)準(zhǔn)值：1413µS/cm,規(guī)格：500mL; 電導(dǎo)率常規(guī)校準(zhǔn)緩沖液
電導(dǎo)率標(biāo)準(zhǔn)液	HI7030L	標(biāo)準(zhǔn)值：12880µS/cm,規(guī)格：500mL; 電導(dǎo)率常規(guī)校準(zhǔn)緩沖液
總固體溶解度標(biāo)準(zhǔn)液	HI7032L	標(biāo)準(zhǔn)值：1382ppm,規(guī)格：500mL; 總固體溶解度常規(guī)校準(zhǔn)緩沖液
總固體溶解度標(biāo)準(zhǔn)液	HI7038L	標(biāo)準(zhǔn)值：6.44ppt,規(guī)格：500mL; 總固體溶解度常規(guī)校準(zhǔn)緩沖液
電極清洗液	HI7061L	普通電極清洗液，規(guī)格：500mL;
	HI7073L	蛋白質(zhì)電極清洗液，規(guī)格：500mL;
	HI7074L	無(wú)機(jī)物電極清洗液，規(guī)格：500mL;
	HI7077L	油脂電極清洗液，規(guī)格：500mL;
電極保護(hù)液	HI70300	電極保存液，規(guī)格：500mL
專用工具	HI98128	電極更換專用工具，適用于HI98129、HI98130測(cè)定儀電極的更換維護(hù)

TDS水質(zhì)檢測(cè)筆

TDS水質(zhì)檢測(cè)筆,用它在幾秒鐘內(nèi)即可檢測(cè)出融解水中物質(zhì)總量（PPM)。有了它，對(duì)您的飲水可隨時(shí)實(shí)施檢測(cè)了，能做到100％的對(duì)飲用水實(shí)行監(jiān)控，飲用水安全。TDS筆小巧，靈敏度極高，可方便的攜帶在身邊。

1)輕巧袖珍——重僅32克。2)測(cè)量范圍廣——量程0~1999PPM。3)應(yīng)用溫度廣——在0~50度工作，可在零下30度儲(chǔ)藏。4)電池壽命長(zhǎng)——采用CR1620 3V電池2片，可用2年以上。5)設(shè)計(jì)合理——筆端電極可直接插入飲水瓶口中測(cè)量，筆套還可以作為被測(cè)液容器，使用極為方便。6)測(cè)量快速——由于精巧裸式的傳感元件，15秒可完成一次測(cè)量。7)清洗方便——電極保護(hù)套可拔下，用于探針和護(hù)套的清洗。8)自動(dòng)溫度補(bǔ)償——可自動(dòng)將示值換算成25度時(shí)的示值。9)液晶屏幕大——比同類產(chǎn)品大一倍以上，示值清晰。規(guī)格：16＊26＊129（mm）重量：32g

代理馬康MALCOM波峰焊爐溫測(cè)試儀DS-10天津杉本供應(yīng)

一、MALCOM波峰焊溫度測(cè)試儀DS-10特點(diǎn)：

1、通過(guò)USB通信可以將測(cè)試數(shù)據(jù)通過(guò)電腦管理，耐熱性能也有提升2、只需將測(cè)試儀搭載在軌道上就可以測(cè)試出錫槽管理必須的項(xiàng)目3、由于和實(shí)際基板上溫度曲線有關(guān)，所以可以方便的管理。4、使用選項(xiàng)的專用軟件可以分析溫度曲線5、選項(xiàng)可以追加多點(diǎn)測(cè)試。

二、MALCOM波峰焊溫度測(cè)試儀DS-10規(guī)格參數(shù)：

項(xiàng)目	傳感器	顯示方法	測(cè)定范圍	精度・內(nèi)容
預(yù)熱溫度	CA熱電偶	LCD數(shù)顯	50＇～30＇0＇℃	±2℃
錫槽溫度	CA特氟龍熱電偶	LCD數(shù)顯	0＇～30＇0＇℃	±2℃
過(guò)錫時(shí)間	電極	LCD數(shù)顯	0＇～10＇．0＇秒	±2秒
電源	單4電池2支　（選項(xiàng)也可以配鋰充電電池）

該公司產(chǎn)品分類：螺絲機(jī) 測(cè)量設(shè)備

蘇州威翰德HDS推全新私有云服務(wù)和增強(qiáng)型產(chǎn)品組合

HDS近日宣布推出私有云服務(wù)和增強(qiáng)型產(chǎn)品組合，助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)業(yè)務(wù)轉(zhuǎn)型，幫助IT部門從私有云設(shè)施中獲得更大收益。HDS為客戶提供更加虛擬化、開(kāi)放和安全的私有云服務(wù)，從而幫助客戶更快地獲取應(yīng)用，更好地管理數(shù)據(jù)，同時(shí)保證成本優(yōu)勢(shì)的靈活性。在HDS的幫助下，企業(yè)的IT部門將更輕松地轉(zhuǎn)型為以服務(wù)為導(dǎo)向的、高效、靈活的部門。

有效轉(zhuǎn)向私有云需要一系列的步驟。首先，必須將各種資源整合到一個(gè)面積更小、效率更高的數(shù)據(jù)中心。其次，必須利用虛擬化技術(shù)，創(chuàng)建計(jì)算和存儲(chǔ)資源的按需服務(wù)池。第三，必須實(shí)施自動(dòng)化IT管理和流程提供，以便簡(jiǎn)化管理。增加自助服務(wù)能力，才能完善、建立真正的私有云。按照以上私有云的方法論，才能為交付私有云服務(wù)奠定可靠、安全、靈活的基石。

HDS解決方案和云服務(wù)副總裁Miki Sandorfi表示：“如今，客戶需要更快地獲取應(yīng)用以增加營(yíng)收，同時(shí)還需要確保知識(shí)產(chǎn)權(quán)的安全性，并更具成本優(yōu)勢(shì)。HDS的私有云解決方案和服務(wù)擁有靈活的開(kāi)放架構(gòu)，為客戶提供虛擬化程度最高、響應(yīng)速度最快、最為安全可靠、最具成本效益比的開(kāi)放式私有云，我們給客戶提供選擇的權(quán)利，讓客戶以自己的方式走向云。簡(jiǎn)言之，HDS私有云可以不妥協(xié)的方式幫助客戶走向云。”

WEHAND高級(jí)分析師表示：“當(dāng)客戶的數(shù)據(jù)中心進(jìn)行現(xiàn)代化改造，以服務(wù)導(dǎo)向型模式提供相關(guān)服務(wù)時(shí)，云無(wú)疑是最佳選擇。IT可基于此前承諾的服務(wù)水平，在用戶需要的任意時(shí)間和地點(diǎn)提供服務(wù)。HDS深知，IT人士們處于企業(yè)數(shù)據(jù)中心轉(zhuǎn)型以支持私有云的不同階段，無(wú)論是處在轉(zhuǎn)向私有云或者IT即服務(wù)的哪一階段，HDS的私有云解決方案都將幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)其目標(biāo)。”

Wehand在行業(yè)內(nèi)率先提出了“專注海量數(shù)據(jù)技術(shù)”的業(yè)務(wù)定位，并快速完成在數(shù)據(jù)技術(shù)產(chǎn)業(yè)鏈的布局，為用戶提供數(shù)據(jù)安全，數(shù)據(jù)集成、數(shù)據(jù)服務(wù)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、內(nèi)容管理、數(shù)據(jù)備份、數(shù)據(jù)災(zāi)備、數(shù)據(jù)分析、數(shù)據(jù)挖掘等定制化的解決方案專業(yè)性數(shù)據(jù)技術(shù)公司. 海量數(shù)據(jù)技術(shù)專家為你答疑QQ:951143788 微信號(hào)：wehand2007 網(wǎng)站： http://www.wehand.cn

公司：蘇州威翰德電子科技有限公司

關(guān)注公眾號(hào)：wehand2011 了解更多資訊，請(qǐng)掃一掃！

該公司產(chǎn)品分類：網(wǎng)絡(luò)存儲(chǔ)設(shè)備 IT-網(wǎng)絡(luò)設(shè)備-存儲(chǔ)設(shè)備 IT數(shù)碼

無(wú)廈門LVDS線束批發(fā)供應(yīng) 價(jià)格優(yōu)惠

廈門LVDS線束批發(fā)供應(yīng) 價(jià)格優(yōu)惠一、部品分類：部品類別號(hào)： GSY05512040035001 類別名稱： LVDS線屬 □ESD部品 □MSD部品 □關(guān)鍵部品 □安全件 □EMC關(guān)鍵件無(wú)鉛產(chǎn)品部品型號(hào)： 51芯350mm 二、包裝：制品應(yīng)妥善包裝、整齊排放，內(nèi)、外包裝應(yīng)無(wú)嚴(yán)重破損、受潮或其它異常。內(nèi)包裝應(yīng)有出廠檢驗(yàn)合格證，注明生產(chǎn)日期（交期不超過(guò)3個(gè)月）、產(chǎn)品編號(hào)、內(nèi)包裝數(shù)量。外包裝上應(yīng)有制造廠名稱、產(chǎn)品編號(hào)、內(nèi)包裝數(shù)量。采用包裝： □散件塑料袋 □紙帶盤卷 □塑料盤卷三、外觀：　　外觀表面光潔，無(wú)損傷、變形、毛刺、裂紋、飛邊、注塑不良等缺陷；鍍層完好、無(wú)氧化銹蝕，色彩均勻正確。四、標(biāo)志：　　線材標(biāo)識(shí)正確、完整、清晰。五、產(chǎn)品尺寸圖：（見(jiàn)附圖）六、電氣性能：如下表接觸電阻 R1≤20mΩ絕緣電阻 R2≥100MΩ工作溫度 -25℃~ 85℃工頻耐壓線材規(guī)格耐壓 157128#0.6mm AC 0.5 KV（50HZ）/1min AC KV（50HZ）/1min七、儲(chǔ)存條件：環(huán)境溫度：-45℃~90℃ 相對(duì)濕度：40℃時(shí)不大于85%　　儲(chǔ)存環(huán)境不應(yīng)有酸性或堿性或其他化學(xué)腐蝕氣體，且不允許陽(yáng)光直射。

精密電導(dǎo)率儀 DDS-320

DDS-320型電導(dǎo)率儀適用于精密測(cè)量各種液體介質(zhì)的電導(dǎo)率儀，當(dāng)配以0.1、0.01規(guī)格常數(shù)的電導(dǎo)電極時(shí)，可以精確測(cè)量高純水電導(dǎo)率。儀器廣泛適用于各領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)。儀器特別設(shè)計(jì)的基本測(cè)量、溫補(bǔ)測(cè)量?jī)煞N方式，使標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量和溫補(bǔ)測(cè)量誤差最小。儀器有溫度測(cè)量和溫度自動(dòng)補(bǔ)償功能，使電導(dǎo)率測(cè)量變得極為方便和精確。

技術(shù)參數(shù)

測(cè)量范圍：COND:0~2×105μS

TENP:-30~120℃

度：0.5%

溫度補(bǔ)償范圍：15~35℃

穩(wěn)定性：0.1%

記錄輸出：0～20mV

電源：AC:220V±10% 50/60Hz

外形尺寸：280×180×100mm

重量：1.5kg

PVD-090-HMDSHMDS烤箱涂膠預(yù)處理真空干燥箱烘箱配壓力溫度記錄

HMDS烤箱涂膠預(yù)處理真空干燥箱烘箱配壓力溫度記錄HMDS預(yù)處理真空烘箱

一、HMDS 預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：

在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)：

1)設(shè)備外殼采用316L不銹鋼材質(zhì)制作，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成；采用C型不銹鋼加熱管,均勻分布在內(nèi)膽外壁，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品實(shí)驗(yàn)情況。

2)箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)保持高真空度。

3) 采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動(dòng)控溫,定時(shí),超溫報(bào)警等,采用LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡(jiǎn)單易用,性能穩(wěn)定.

4)智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時(shí)間。

5)HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，使真空箱密封性能極好，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。

6)整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)醫(yī)用級(jí)316L不銹鋼材料制作，無(wú)發(fā)塵材料，適用百級(jí)光刻間凈化環(huán)境。

三、產(chǎn)品型號(hào)及參數(shù)：

型號(hào)：PVD-090-HMDS

容積：90L

控溫范圍：R.T.+10～250℃

溫度分辨率：0.1℃

控溫精度：±0.5℃

隔板數(shù)量：2PCS

真空度：<133Pa

真空泵：DM4（外置連接）

電源：AC220/50HZ

額定功率：3.0KW

內(nèi)膽尺寸mm：450x450x450 （W*D*H）

外形尺寸mm：650x640x910 （W*D*H）

木箱包裝mm: 840x750x1100（W*D*H）

連接管：316不銹鋼波紋管，將真空泵與真空箱完全密封無(wú)縫連接

四、PVD-090-HMDS系列預(yù)處理系統(tǒng)的原理：

PVD-090-HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

五、PVD-090-HMDS系列預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：

首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開(kāi)始充入氮?dú)猓涞侥车驼婵斩群螅俅芜M(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開(kāi)始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)猓瓿烧麄€(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。

六、尾氣排放：

多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由真空泵抽出，排放到專用廢氣收集管道。在無(wú)專用廢氣收集管道時(shí)需做專門處理。

七、產(chǎn)品操作控制系統(tǒng)平臺(tái)配置:

1.采用DM4直聯(lián)旋片式真空泵

2.采用AISET溫控器控制溫度,日本三菱可編程觸摸屏操作模塊.

3.固態(tài)繼電器

其它選配：

1）加急停裝置（標(biāo)配已含）

2）波紋管2米（標(biāo)配含1米）

3）富士溫控儀表（溫度與PLC聯(lián)動(dòng)）

4）三色燈

5）增加HMDS液體瓶

6）下箱柜子（304不銹鋼）

7）壓力記錄儀（帶曲線）

8）溫度記錄儀（帶曲線）

備注：選配壓力記錄儀、溫度記錄儀時(shí)，因工藝需要改變?cè)O(shè)備整個(gè)外箱結(jié)構(gòu)，請(qǐng)參考實(shí)物圖。外殼采用SS41粉末靜電噴涂，內(nèi)膽采用316L不銹鋼，外箱尺寸為（W*D*H）mm：980x655x1600（含下箱柜高700），下箱柜空置。

該公司產(chǎn)品分類：高溫老化試驗(yàn)箱、熱老化試驗(yàn)箱低溫箱/低溫試驗(yàn)箱搖床、振蕩器、混勻器馬弗爐、電阻爐、實(shí)驗(yàn)爐樣品前處理工作站高低溫沖擊試驗(yàn)箱/冷熱沖擊試驗(yàn)箱水浴、油浴、恒溫槽其它無(wú)損檢測(cè)儀器/設(shè)備恒溫恒濕箱培養(yǎng)箱干燥箱無(wú)塵烘箱 HMDS烤箱真空脫泡箱真空測(cè)漏箱 1300度馬弗爐 1200度馬弗爐 1000度馬弗爐水浴振蕩器恒溫振蕩器

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